[實用新型]掃描電鏡截面觀測平臺

無效

• 申請號: 201020223196.8
• 申請日: 2010-06-10
• 公開（公告）號: CN201698989U
• 公開（公告）日: 2011-01-05
• 發明（設計）人: 楊文侃;王慶錢
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/28;G01N23/225
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本實用新型涉及一種掃描電鏡截面觀測平臺。

背景技術

掃描電子顯微鏡是一種比較理想的表面分析工具，可以直接觀察大塊樣品的表面，且樣品制備方便。但是現有的掃描電鏡觀測平臺存在截面測量不便，測量平臺規格各異，測量位置難以把握等問題。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：設計一種掃描電鏡截面觀測平臺，克服截面測量不便，測量平臺規格各異，測量位置難以把握的問題。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種掃描電鏡截面觀測平臺，包括基座，在基座上設置夾持樣品的夾具，夾具包括固定塊和滑動塊，固定塊設置在基座上，滑動塊與基座之間設置滑動調節機構。

為方便確定測量位置，在基座上設置測量固定塊與滑動塊之間開口的距離的刻度尺。

具體地，滑動調節機構為螺旋滑動調節機構，包括設置在滑動塊上的螺旋紋路和設置在基座外側的螺旋扭具。

為保證測量效果，同時防止樣品被夾碎，對樣品進行固定的固定塊和滑動塊的夾口兩側設置導電材料。

平臺為方形。

本實用新型的有益效果是：截面測量更加方便，測量平臺的適應性廣，測量位置容易得到。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明；

圖1是本實用新型的平臺的俯視圖；

圖2是本實用新型的平臺的右視圖；

其中：1.基座，2.固定塊，3.滑動塊，4.刻度尺，5.螺旋扭具，6.導電材料。

具體實施方式

一種掃描電鏡截面觀測平臺，平臺由原來的圓形更改為方形，大小為10mm*10mm規格，包括基座1，在基座1上設置夾持樣品的夾具，夾具包括固定塊2和滑動塊3，固定塊2設置在基座1上，滑動塊3與基座1之間設置滑動調節機構。滑動調節機構為螺旋滑動調節機構，類似于扳手上，包括設置在滑動塊上的螺旋紋路和設置在基座1外側的螺旋扭具5。固定塊2和滑動塊3的滑動距離為8mm，通過滾動螺旋扭具，固定塊2和滑動塊3構成的夾口可以張開閉合，以對樣品進行固定。在方形樣品平臺側面設置有刻度尺4。根據測量臺開合程度不同，根據刻度尺上面的值對測量范圍進行選擇。對樣品進行固定的固定塊2和滑動塊3的夾口兩側設置導電材料6，可保證測量效果，同時防止樣品被夾碎。

測量時，扭開夾具，放入樣品，旋動螺旋扭具5閉合夾具，將樣品加緊，同時將其旋入底座，然后安裝于掃描電鏡上，同時根據側面的刻度尺對電鏡的軟件的測量范圍進行選擇后，就可以進行觀察測量了。