[實用新型]掃描電鏡截面觀測平臺無效
| 申請號： | 201020223196.8 | 申請日： | 2010-06-10 |
| 公開（公告）號： | CN201698989U | 公開（公告）日： | 2011-01-05 |
| 發明（設計）人： | 楊文侃;王慶錢 | 申請（專利權）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/225 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描電鏡 截面 觀測 平臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種掃描電鏡截面觀測平臺，其特征是：包括基座(1)，在基座(1)上設置夾持樣品的夾具，夾具包括固定塊(2)和滑動塊(3)，固定塊(2)設置在基座(1)上，滑動塊(3)與基座(1)之間設置滑動調節機構。
2.根據權利要求1所述的掃描電鏡截面觀測平臺，其特征是：在所述的基座(1)上設置測量固定塊(2)與滑動塊(3)之間開口的距離的刻度尺(4)。
3.根據權利要求1所述的掃描電鏡截面觀測平臺，其特征是：所述的滑動調節機構為螺旋滑動調節機構，包括設置在滑動塊上的螺旋紋路和設置在基座(1)外側的螺旋扭具(5)。
4.根據權利要求1所述的掃描電鏡截面觀測平臺，其特征是：所述的對樣品進行固定的固定塊(2)和滑動塊(3)的夾口兩側設置導電材料(6)。
5.根據權利要求1所述的掃描電鏡截面觀測平臺，其特征是：平臺為方形。
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