[實用新型]可倒式真空基片表面測溫裝置

有效

• 申請號: 201020216852.1
• 申請日: 2010-05-26
• 公開（公告）號: CN201729868U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 謝鈞榮;李紅然;韓凌;張鴻年
• 申請（專利權）人: 北京北儀創新真空技術有限責任公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00;G01K7/18
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜技術領域，特別涉及一種可倒式真空基片測溫裝置。

背景技術

目前，在用真空鍍膜設備進行鍍膜時，為了加強被鍍工件(或稱基片)的膜層附著強度，提高鍍膜質量，經常要對基片表面進行烘烤加熱，而為了測量基片表面的溫度，掌握其溫度分布狀況，以便調整加熱溫度，獲得更好的膜層質量，就需要對基片表面的溫度進行精確測量。如圖1所示，在現有技術中，在真空狀態下用加熱裝置1對被測的基片3進行加熱時，在基片3表面附近放置一個或多個熱電偶溫度傳感器2，來測量基片3附近的空間溫度，從而獲得基片3表面溫度及其溫度分布狀況。這種測量技術雖然簡單易行，但是所測的溫度是空間溫度，不是基片表面的實際溫度，兩個溫度最大可相差50％，存在較大誤差，它只能近似地反映基片表面的溫度及其溫度分布狀況。

發明內容

(一)要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是測量基片表面的實際溫度，得到基片表面的溫度分布狀況。

(二)技術方案

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案。

本實用新型提供了一種可倒式真空基片表面測溫裝置，包括基片、鎧裝鉑電阻溫度傳感器、固定桿，其上固定有所述鎧裝鉑電阻溫度傳感器，用于控制所述鎧裝鉑電阻溫度傳感器與基片接觸或分離以及引出電極，用于連接所述鎧裝鉑電阻溫度傳感器，將所測得的結果傳輸到儀表進行顯示。

優選地，所述可倒式真空基片表面測溫裝置還包括擺動臂，與所述固定桿相連接；旋轉汽缸，與所述擺動臂相連接；以及旋轉軸，分別與所述擺動臂和所述旋轉汽缸相連接。

優選地，所述旋轉軸安裝在所述旋轉氣缸上。

優選地，所述擺動臂與所述旋轉軸連接。

優選地，所述鎧裝鉑溫度傳感器為多個，且以預設的間隔排列在所述固定桿上。

優選地，所述可倒式真空基片表面測溫裝置還包括箱體，其上固定所述擺動臂。

(三)有益效果

在本實用新型的可倒式真空基片表面測溫裝置中，由于鎧裝鉑溫度傳感器可接觸待測基片表面因而能夠測量基片被加熱表面的實際溫度，真實地反映了基片表面的溫度及溫度分布狀況。

附圖說明

圖1為現有技術的一種基片測溫裝置的結構示意圖；

圖2為依照本實用新型一種實施方式的可倒式真空基片表面測溫裝置的結構示意圖及擺動臂的轉動角度示意。

具體實施方式

本實用新型提出的可倒式真空基片表面測溫裝置，結合附圖和實施例詳細說明如下。

如圖2所示，依照本實用新型一種實施方式的可倒式真空基片表面測溫裝置在真空室內使用，基片加熱裝置1安裝在基片2上方，通過熱輻射方式對整個基片2進行加熱。該測溫裝置主要由特制的鎧裝鉑電阻溫度傳感器3、固定桿4、擺動壁5、旋轉軸6、旋轉氣缸7、引出電極8和箱體9等組成，各部件之間的關系是：將若干個一端制成螺旋彈簧式的鎧裝鉑電阻溫度傳感器3按一定間隔排列，用夾子分別將其另一端固定在固定桿4上，固定桿4與擺動臂5連接，擺動臂5與安裝在旋轉氣缸7上的旋轉軸6連接，并通過螺栓固定在箱體9上，整個測溫裝置通過密封件及螺栓被連接在真空室內。鎧裝鉑電阻溫度傳感器3是一種精確、靈敏、穩定的溫度傳感器，一端設有一觸頭，可以接觸各種不同的熱源，主要由感溫元件鉑電阻絲加絕緣體外包不銹鋼鎧套組成，其工作原理是：在溫度的作用下，鉑絲的電阻隨溫度變化而變化。鎧裝鉑電阻溫度傳感器3直接用銅導線通過引出電極8和儀表(未示出)相連接，可精確地將溫度的變化轉變成電信號的變化而顯示在儀表上。

該測溫裝置的工作原理是：當基片2被加熱時，旋轉的基片2表面同一直徑上各點的溫度是一致的，不同直徑上各點的溫度可能不一樣。當要測量基片2表面各點的溫度時，通過安裝在旋轉氣缸7上的旋轉軸6帶動擺動臂5向上轉動一定角度，這時按一定間隔排列的測溫觸頭接觸基片2表面，根據鎧裝鉑電阻溫度傳感器3的上述工作原理，即可從儀表準確得知基片2表面各點的實際溫度值。根據實驗結果，其誤差不超過所測定溫度的±0.5％，通過計算可得到整個基片2表面的溫度分布狀況。當不需要測量時，可向下轉動擺動臂5以恢復到原位置。

以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本實用新型的范疇，本實用新型的專利保護范圍應由權利要求限定。