[實用新型]可倒式真空基片表面測溫裝置有效
| 申請號： | 201020216852.1 | 申請日： | 2010-05-26 |
| 公開（公告）號： | CN201729868U | 公開（公告）日： | 2011-02-02 |
| 發明（設計）人： | 謝鈞榮;李紅然;韓凌;張鴻年 | 申請（專利權）人： | 北京北儀創新真空技術有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/00 | 分類號： | C23C14/00;G01K7/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩 |
| 地址： | 102600 北京市大興工*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 可倒式 真空 表面 測溫 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種可倒式真空基片表面測溫裝置，包括基片(2)，其特征在于，還包括：
固定桿(4)，其上固定有鎧裝鉑溫度傳感器(3)，用于控制所述鎧裝鉑電阻溫度傳感器(3)與所述基片(2)的接觸或分離；以及
引出電極(8)，與所述鎧裝鉑電阻溫度傳感器(3)相連接。
2.如權利要求1所述的可倒式真空基片表面測溫裝置，其特征在于，還包括：
擺動臂(5)，與所述固定桿(4)相連接；
旋轉汽缸(7)，與所述擺動臂(5)相連接；以及
旋轉軸(6)，分別與所述擺動臂(5)和所述旋轉汽缸(7)相連接。
3.如權利要求1所述的可倒式真空基片表面測溫裝置，其特征在于，所述旋轉軸(6)安裝在所述旋轉氣缸(7)上。
4.如權利要求3所述的可倒式真空基片表面測溫裝置，其特征在于，所述擺動臂(5)與所述旋轉軸(6)連接。
5.如權利要求1所述的可倒式真空基片表面測溫裝置，其特征在于，所述鎧裝鉑溫度傳感器(3)為多個，且以預設的間隔排列在所述固定桿(4)上。
6.如權利要求1～5之任一項所述的可倒式真空基片表面測溫裝置，其特征在于，還包括箱體(9)，所述擺動臂(5)固定于所述箱體(9)上。
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