[實用新型]24對棒多晶硅還原爐有效
| 申請號： | 201020215600.7 | 申請日： | 2010-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN201785197U | 公開（公告）日： | 2011-04-06 |
| 發明（設計）人： | 王姍 | 申請（專利權）人： | 成都蜀菱科技發展有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/021 | 分類號： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610015 四川省*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 24 多晶 還原 | ||
【權利要求書】：
1.24對棒多晶硅還原爐，包括底盤和爐體，在爐體和底盤上設有冷卻水腔和用于冷卻水進出的進出口，底盤上配有電極、進氣口和排氣口，底盤與爐體采用緊固件連接，爐體上設有用于觀察和測量溫度的視孔，其特征在于還原爐內壁有一層厚度為2-3mm的光滑的銀層，底盤上有24對用于生成硅棒的電極。
2.根據權利要求1所述的24對棒多晶硅還原爐，其特征在于24對電極在底盤上分三圈，在360°上均布，內圈為4對電極，中圈為8對電極，外圈為12對電極，底盤上位于內圈和中圈電極之間相距180°設置2個進氣噴嘴，中圈電極與外圈電極之間360°上均勻分布4個進氣噴嘴，底盤中心設有還原尾氣的排氣口。
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