[實用新型]應用于預真空腔室托盤的銷

有效

• 申請號: 201020210210.0
• 申請日: 2010-05-28
• 公開（公告）號: CN201729880U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 李廣寧
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種緊固件，尤其涉及一種銷。

背景技術

半導體生產領域內，在化學氣相沉積機臺左邊的一個預真空腔室內設有用于吸附晶圓的托盤1，請參閱圖1-3，圖1是現有的銷與托盤的銷孔相配合的俯視示意圖；圖2是圖1的A-A剖視圖；圖3是現有的銷的結構示意圖。所述托盤1內設有若干銷孔2，所述銷孔2內設有塑料銷3。所述銷孔2是設于托盤1內的階梯孔，所述階梯孔由位于上方的大孔和位于下方的小孔組成，所述大孔和小孔同心。所述銷3也分成上下兩部分。銷3的上部的外徑與所述大孔的內徑相配合。銷3的下部的外徑與所述小孔的內徑相配合。

然而，在使用中發現，在預真空腔室用去離子水清洗過程中和抽真空的過程中，塑料銷3與金屬托盤1之間的摩擦往往會導致銷3在托盤1上升下降的過程中向上凸起，向上外凸的銷3極易損傷托盤1上的晶圓，導致晶圓邊緣有缺角而發生破片現象，造成產品的良率下降。而且在檢修的過程中，造成機臺的長時間停運，以致造成相當大的經濟損失。

因此，如何提供一種可以防止銷向上凸起的應用于預真空腔室托盤的銷是本領域亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種應用于預真空腔室托盤的銷，通過在銷的下部增設O形圈來阻止銷在使用過程中向上凸起，從而保護托盤中的晶圓。

為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種應用于預真空腔室托盤的銷，所述銷設置于所述托盤的銷孔內，所述銷的外壁與銷孔的內壁相配合，所述銷的下部伸出銷孔的部分沿周向設有用于置放O形圈的凹槽。

在上述的應用于預真空腔室托盤的銷中，所述O形圈的外徑大于銷孔的內徑。

在上述的應用于預真空腔室托盤的銷中，所述銷通過一體成型制造。

在上述的應用于預真空腔室托盤的銷中，所述銷孔是由位于上方的大孔和位于下方的小孔連接組成的同心階梯孔，所述銷的上部31的外徑與大孔的內徑相配合，所述銷的下部的外徑與小孔的內徑相配合。

在上述的應用于預真空腔室托盤的銷中，所述銷采用陶瓷材料。

在上述的應用于預真空腔室托盤的銷中，所述O形圈是采用橡膠材料。

本實用新型應用于預真空腔室托盤的銷，結構簡單，使用方便，通過在銷的下部增設O形圈來阻止銷在使用過程中向上凸起，來避免由于銷上凸所造成的晶圓破片的風險，從而，有效地保護了晶圓的完整性，提高了產品的良率和生產效率。

附圖說明

本實用新型的應用于預真空腔室托盤的銷由以下的實施例及附圖給出。

圖1是現有的銷與托盤的銷孔相配合的俯視示意圖；

圖2是圖1的A-A剖視圖；

圖3是現有的銷的結構示意圖；

圖4是本實用新型的銷與托盤的銷孔相配合的結構剖視圖；

圖5是本實用新型應用于預真空腔室托盤的銷的結構示意圖；

圖6是托盤中的銷孔的結構示意圖；

圖7是銷應用于托盤的整體示意圖。

圖中，1-托盤、2-銷孔、21-大孔、22-小孔、3-銷、31-銷的上部，32-銷的下部，321-凹槽、4-O形圈。

具體實施方式

以下將對本實用新型的應用于預真空腔室托盤的銷作進一步的詳細描述。

下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。

為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。

為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參閱圖4-7，圖4是本實用新型的銷與托盤的銷孔相配合的結構剖視圖；圖5是本實用新型應用于預真空腔室托盤的銷的結構示意圖；圖6是托盤中的銷孔的結構示意圖；圖7是銷應用于托盤的整體示意圖。

這種應用于預真空腔室托盤的銷，所述銷3設置于所述托盤1的銷孔2內，所述銷3的外壁與銷孔2的內壁相配合。