[實用新型]應用于預真空腔室托盤的銷有效
| 申請號： | 201020210210.0 | 申請日： | 2010-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN201729880U | 公開（公告）日： | 2011-02-02 |
| 發明（設計）人： | 李廣寧 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/458 | 分類號： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 應用于 空腔 托盤 | ||
【權利要求書】：
1.一種應用于預真空腔室托盤的銷，所述銷設置于所述托盤的銷孔內，其特征在于，所述銷的外壁與銷孔的內壁相配合，所述銷的下部伸出銷孔的部分沿周向設有用于置放O形圈的凹槽。
2.如權利要求1所述的應用于預真空腔室托盤的銷，其特征在于，所述O形圈的外徑大于銷孔的內徑。
3.如權利要求1或2所述的應用于預真空腔室托盤的銷，其特征在于，所述銷孔是由位于上方的大孔和位于下方的小孔連接組成的同心階梯孔，所述銷的上部的外徑與大孔的內徑相配合，所述銷的下部的外徑與小孔的內徑相配合。
4.如權利要求1所述的應用于預真空腔室托盤的銷，其特征在于，所述銷通過一體成型制造。
5.如權利要求1所述的應用于預真空腔室托盤的銷，其特征在于，所述銷采用陶瓷材料。
6.如權利要求1所述的應用于預真空腔室托盤的銷，其特征在于，所述O形圈是采用橡膠材料。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
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C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
