[實用新型]分子泵結構鍍膜用單元式真空室

有效

• 申請號: 201020190002.9
• 申請日: 2010-05-12
• 公開（公告）號: CN201686741U
• 公開（公告）日: 2010-12-29
• 發明（設計）人: 李桂良;蘇宜龍
• 申請（專利權）人: 上海子創鍍膜技術有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 上海衡方知識產權代理有限公司 31234
• 代理人: 卞孜真

1.一種分子泵結構鍍膜用單元式真空室，包含一個大真空腔室(100)，其特征在于，所述大真空腔室(100)通過隔板(8)分割成若干個相同的真空單元(6)，所述每個真空單元(6)邊側覆蓋有真空蓋板(1)，所述真空蓋板(1)為框架結構，所述真空單元(6)頂端設置有陰極蓋板(9)，所述陰極蓋板(9)徑向中心線位置處從上至下均勻設置有至少一個以上的分子泵安裝法蘭(15)，所述分子泵安裝法蘭(15)上安裝有分子泵，所述陰極蓋板(9)四角邊沿上對稱安裝有旋轉陰極安裝孔(16)，所述旋轉陰極安裝孔(16)安裝有濺射陰極。

2.根據權利要求1所述的單元式真空室，其特征在于，所述真空單元(6)與所述真空蓋板(1)連接處為雙道密封連接，在所述雙道密封連接處設置有雙封密封圈(12)。

3.根據根據權利要求1所述的單元式真空室，其特征在于，所述隔板(8)上均勻排列設置有若干個通氣孔(10)，其作為相鄰兩個真空單元(6)氣氛的對流通孔。

4.根據根據權利要求1所述的單元式真空室，其特征在于，所述隔板(6)與陰極蓋板(9)連接處采用雙道密封連接，并在密封處開有一個抽氣檢漏裝置孔(19)，抽氣檢漏裝置孔(19)連接到抽氣檢漏裝置(16)，以便檢測真空單元(6)的密封性。

5.根據根據權利要求1所述的單元式真空室，其特征在于，所述真空單元(6)內設置有旋轉陰極端頭(13)，所述端頭(13)可帶動陰極蓋板(9)轉動，當陰極蓋板(9)轉到覆蓋濺射陰極時，分子泵工作，而濺射陰極停止工作，當陰極蓋板(9)轉到覆蓋分子泵時，濺射陰極工作，而分子泵停止工作。

6.根據權利要求1所述的單元式真空室，其特征在于，所述真空單元(6)內還設置有工藝氣管(3)、固定夾板(2)、冷卻擋板(4)、輥道(5)、可調輥道支撐(7)、冷卻擋板支撐(40)，其中，所述輥道(5)兩端設置在可調輥道支撐(7)上。

7.根據權利要求6所述的單元式真空室，其特征在于，所述冷卻擋板(4)設置在輥道(5)上端，所述冷卻擋板(4)由冷卻擋板支撐(40)固定。

8.根據權利要求1或3所述的單元式真空室，其特征在于，在所述隔板(8)中間位置、通氣孔(10)下端還設置有玻璃通道孔(11)。

9.根據權利要求1所述的單元式真空室，其特征在于，所述真空蓋板(1)上還設置有觀察窗(18)。