[實(shí)用新型]真空動(dòng)力傳送裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020188770.0
• 申請(qǐng)日: 2010-05-06
• 公開（公告）號(hào): CN201732774U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;王銀果;劉惠森;范繼良;王勇;王曼媛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種對(duì)動(dòng)力進(jìn)行傳送的傳送裝置，尤其涉及一種對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管生產(chǎn)線上真空腔室內(nèi)的用來(lái)傳送基片的真空動(dòng)力傳送裝置。?

背景技術(shù)

隨著經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展、科技的不斷進(jìn)步和世界能源的日益減少，人們?cè)谏a(chǎn)中越來(lái)越重視能源的節(jié)約及利用效率，使得人與自然和諧發(fā)展以滿足中國(guó)新型的工業(yè)化道路要求。?

例如，在真空環(huán)境要求極高的數(shù)碼產(chǎn)品的顯示產(chǎn)業(yè)中，企業(yè)為了節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本，都加大投資研發(fā)力度，不斷地追求節(jié)能的新產(chǎn)品。其中，OLED顯示屏就是數(shù)碼產(chǎn)品中的一種新產(chǎn)品，OLED即有機(jī)發(fā)光二極管(OrganicLight-Emitting?Diode)，又稱為有機(jī)電激光顯示(Organic?ElectroluminesenceDisplay，OELD)，因?yàn)榫邆漭p薄、省電等特性，因此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應(yīng)用，并且具有較大的市場(chǎng)潛力，目前世界上對(duì)OLED的應(yīng)用都聚焦在平板顯示器上，因?yàn)镺LED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-LCD相提并論的技術(shù)，且是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)；但OLED顯示屏幕與傳統(tǒng)的TFT-LCD顯示屏幕并不同，其無(wú)需背光燈，采用非常薄的有機(jī)材料涂層和玻璃基片，當(dāng)有電流通過時(shí)，這些有機(jī)材料就會(huì)發(fā)光，而且OLED顯示屏幕可以做得更輕更薄，可視角度更大，并且能夠顯著節(jié)省電能；相應(yīng)地，制造OLED顯示屏幕的所有設(shè)備必須要保證OLED顯示屏幕的精度要求。因此，作為有機(jī)發(fā)光二極管OLED原材料的質(zhì)量和精度，傳輸過程中傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的自動(dòng)化程度，清潔度，以及低噪音尤為重要。?

現(xiàn)有的一種用于對(duì)真空腔室內(nèi)的用來(lái)制造有機(jī)發(fā)光二極管OLED的基片傳?動(dòng)機(jī)構(gòu)中，外界動(dòng)力輸出軸與傳動(dòng)軸相連，傳動(dòng)軸與齒輪傳動(dòng)裝置相連，齒輪傳動(dòng)裝置上承載有待傳送的基片，傳動(dòng)軸可以從外界動(dòng)力輸出軸獲取旋轉(zhuǎn)力，即當(dāng)馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)設(shè)備開動(dòng)時(shí)，該傳動(dòng)軸就可以帶動(dòng)齒輪傳動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)。上述傳送方式由于大都采用齒輪相互嚙合的直接接觸的傳動(dòng)方式，傳動(dòng)的過程中容易造成機(jī)械磨損，導(dǎo)致傳動(dòng)能耗；同時(shí)，由于傳動(dòng)中的各運(yùn)動(dòng)組件，例如齒輪與傳動(dòng)軸、齒輪與齒輪等之間的接觸，容易使傳動(dòng)機(jī)構(gòu)各運(yùn)動(dòng)組件之間因?yàn)槟Σ炼；a(chǎn)生粉塵進(jìn)入到容置有基片的真空腔室內(nèi)，影響了真空腔室內(nèi)及基片的清潔度，并且傳動(dòng)過程中產(chǎn)生了較大的噪聲；另外，各運(yùn)動(dòng)組件之間的摩擦也將嚴(yán)重影響傳動(dòng)機(jī)構(gòu)使用壽命。?

因此，急需一種傳動(dòng)能耗少、高清潔度、超靜音、使用壽命長(zhǎng)的適用于在真空腔室內(nèi)傳送基片的真空動(dòng)力傳送裝置來(lái)克服上述缺陷。?

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種傳動(dòng)能耗少、高清潔度、超靜音、使用壽命長(zhǎng)適用于在真空腔室內(nèi)傳送基片的真空動(dòng)力傳送裝置。?

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種真空動(dòng)力傳送裝置，適用于在真空腔室內(nèi)傳送基片，其中，所述真空動(dòng)力傳送裝置包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)軸、聯(lián)動(dòng)軸及均具有磁性的磁力主動(dòng)輪與若干磁力從動(dòng)輪，所述傳動(dòng)軸的一端樞接地穿過所述真空腔室的一體壁并伸入所述真空腔室內(nèi)，所述磁力主動(dòng)輪固定安裝于所述傳動(dòng)軸伸入所述真空腔室內(nèi)的一端上，所述聯(lián)動(dòng)軸的兩端分別樞接于所述真空腔室的相對(duì)兩體壁上并鄰近所述主動(dòng)輪，所述磁力從動(dòng)輪固定安裝于所述聯(lián)動(dòng)軸上，且至少一個(gè)所述磁力從動(dòng)輪鄰近所述磁力主動(dòng)輪，所述磁力從動(dòng)輪上承載有基片，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定安裝于所述真空腔室外，且所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸出端與所述傳動(dòng)軸露出于所述真空腔室的一端連接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)所述磁力主動(dòng)輪旋轉(zhuǎn)，所述磁力主動(dòng)輪帶動(dòng)所述磁力從動(dòng)輪及聯(lián)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)以傳送基片。?

較佳地，所述真空腔室的體壁上固定裝設(shè)有軸承座，所述傳動(dòng)軸穿過所述?軸承座并伸入所述真空腔室內(nèi)。所述軸承座將所述傳動(dòng)軸固定于所述真空腔室的體壁上，并引導(dǎo)所述傳動(dòng)軸伸入所述真空腔室內(nèi)，從而為所述傳動(dòng)軸提供穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)工作環(huán)境。?

較佳地，所述傳動(dòng)軸的表面上旋轉(zhuǎn)密封有一星型密封圈，且所述星型密封圈裝設(shè)于所述軸承座內(nèi)。所述星型密封圈旋轉(zhuǎn)密封在所述傳動(dòng)軸的外表面且置于所述軸承座內(nèi)，從而不僅可有效防止空氣通過所述傳動(dòng)軸進(jìn)入到真空腔室內(nèi)，以保證所述真空腔室內(nèi)的真空度，還可有效防止所述傳動(dòng)軸在旋轉(zhuǎn)過程中，外界細(xì)小的灰塵顆粒等進(jìn)入所述真空腔室內(nèi)，以保持所述真空腔室內(nèi)的高清潔度，防止被傳送的基片沾染到灰塵等影響其精度的雜物。?

較佳地，所述軸承座內(nèi)固定裝設(shè)有一滾珠軸承，所述傳動(dòng)軸穿過所述滾珠軸承并伸入所述真空腔室內(nèi)。所述滾珠軸承提高了所述傳動(dòng)軸工作的穩(wěn)定性同時(shí)也減小了所述傳動(dòng)軸與所述軸承座兩者之間的磨擦損壞作用，從而提高所述真空動(dòng)力傳送裝置的使用壽命。?