[實用新型]支撐裝置

無效

• 申請號: 201020180817.9
• 申請日: 2010-04-29
• 公開（公告）號: CN201729879U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 臺發林;李祥福;張希山;朱紅霞
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種支撐裝置，其特征在于，包括支撐架以及設置于所述支撐架上的多個支撐腳，所述支撐腳的內側面為多級臺階式。

2.如權利要求1所述的支撐裝置，其特征在于，所述支撐架是由兩個框條構成的十字形狀結構的框架。

3.如權利要求2所述的支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳設置于所述各框條的兩端。

4.如權利要求3所述的支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳包括三級臺階。

5.如權利要求4所述的支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳的數量為四個。

6.如權利要求5所述的支撐裝置，其特征在于，還包括設置在所述支撐架中心的支撐軸。

7.如權利要求1或6所述的支撐裝置，其特征在于，所述支撐裝置的材質為耐高溫材料。

8.如權利要求7所述的支撐裝置，其特征在于，所述支撐裝置的材質為耐高溫的金屬。

9.如權利要求1所述的支撐裝置，其特征在于，所述支撐架與所述支撐腳是一體成型結構。