[實用新型]研磨液供應裝置

無效

• 申請號: 201020180778.2
• 申請日: 2010-04-29
• 公開（公告）號: CN201728595U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 左少杰;詹明松;王懷鋒;余文軍;曹開瑋
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種研磨液供應裝置，包括研磨液罐，其特征在于：還包括保濕液罐，所述保濕液罐內液面上的空間與所述研磨液罐內液面上的空間密閉連通。

2.如權利要求1所述的研磨液供應裝置，其特征在于：所述保濕液罐通過管道與所述研磨液罐密閉連通。

3.如權利要求2所述的研磨液供應裝置，其特征在于：所述保濕液罐上方的罐壁設有第一接口，所述保濕液罐上方罐壁設有第二接口，所述管道的兩端分別與第一接口和第二接口密閉連接。

4.如權利要求1所述的研磨液供應裝置，其特征在于：所述研磨液罐具有兩個，所述兩個研磨液罐內液面上的空間分別通過各自的管道與所述保濕液罐液面上的空間密閉連通。

5.如權利要求4所述的研磨液供應裝置，其特征在于：所述兩個研磨液罐通過第一換向閥擇一與研磨液供應源連接。

6.如權利要求4所述的研磨液供應裝置，其特征在于：所述兩個研磨液罐通過第二換向閥擇一與研磨裝置連接。

7.如權利要求1所述的研磨液供應裝置，其特征在于：所述研磨液罐具有兩個，所述兩個研磨液罐內液面上的空間密閉連通，且其中一個研磨液罐內液面上的空間與所述保濕液罐液面上的空間密閉連通。

8.如權利要求1所述的研磨液供應裝置，其特征在于：所述研磨液罐包括研磨液進口和研磨液出口，所述研磨液進口和所述研磨液出口分別位于所述研磨液罐的頂面和底面。

9.如權利要求1所述的研磨液供應裝置，其特征在于：所述研磨液罐包括研磨液進口和研磨液出口，所述研磨液進口和所述研磨液出口分別位于所述研磨液罐的頂面。

10.如權利要求1所述的研磨液供應裝置，其特征在于：所述保濕液罐設有一保濕液進口和一保濕液出口。