[實用新型]用于化學氣相淀積反應室的緊固組件

無效

• 申請號: 201020180763.6
• 申請日: 2010-04-29
• 公開（公告）號: CN201729877U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 朱紅霞;張希山;陶永鈞;廖夤臨;汪少軍
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: C23C16/00
• 分類號: C23C16/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種用于化學氣相淀積反應室的緊固組件，包括若干用于連接反應室周壁和氣源箱底板的螺栓，所述螺栓和氣源箱底板之間設有一隔離板，其特征在于：所述隔離板上設置有圓周刻度，所述螺栓設有與所述圓周刻度相對應的指針。

2.如權利要求1所述的用于化學氣相淀積反應室的緊固組件，其特征在于：所述隔離板與氣源箱底板相接觸的面上分別設有相互配合的凸起和凹槽。

3.如權利要求1所述的用于化學氣相淀積反應室的緊固組件，其特征在于：所述螺栓為六個。

4.如權利要求1所述的用于化學氣相淀積反應室的緊固組件，其特征在于：所述圓周刻度是36等分刻度盤。

5.如權利要求1所述的用于化學氣相淀積反應室的緊固組件，其特征在于：所述螺栓與所述隔離板之間設有一墊圈。