[實(shí)用新型]真空泵系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201020167655.5 | 申請日： | 2010-04-06 |
| 公開（公告）號： | CN201763565U | 公開（公告）日： | 2011-03-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蘇焜誠;劉明信;方宏聲;劉邱豪 | 申請（專利權(quán)）人： | 漢鐘精機(jī)股份有限公司 |
| 主分類號： | F04B37/14 | 分類號： | F04B37/14 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 周國城 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 真空泵 系統(tǒng) | ||
1.一種真空泵系統(tǒng)，其特征在于，包括：
一第一連通管路；
一第二連通管路；
一第三連通管路；
一第一控制閥，組設(shè)于該第一連通管路與該第二連通管路之間；
一逆止閥；以及
一真空泵，包括有一吸入側(cè)、與一排出側(cè)，其中該第一連通管路分別連接于該第一控制閥的一出氣端與該吸入側(cè)，該第二連通管路分別連接于該第一控制閥的一入氣端與該排出側(cè)，該第三連通管路分別連接于該排出側(cè)與該逆止閥的一入氣端，且該逆止閥位于該第二連通管路之后，該真空泵的該吸入側(cè)與該排出側(cè)之間通過該第一控制閥選擇式連通。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述真空泵的該吸入側(cè)通過一第四連通管路而連通至一工藝腔體。
3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一第二控制閥，組設(shè)于該第四連通管路中。
4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一壓力傳感器、與一第一控制器，該壓力傳感器設(shè)于該工藝腔體內(nèi)，該第一控制器分別電連接于該壓力傳感器與該第二控制閥。
5.如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一控制器還電連接于該第一控制閥。
6.如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一第二控制器，電連接于該第一控制閥。
7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一消音器，組設(shè)于該逆止閥的一出氣端。
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