[實用新型]真空泵系統

無效

• 申請號: 201020167655.5
• 申請日: 2010-04-06
• 公開（公告）號: CN201763565U
• 公開（公告）日: 2011-03-16
• 發明（設計）人: 蘇焜誠;劉明信;方宏聲;劉邱豪
• 申請（專利權）人: 漢鐘精機股份有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周國城

技術領域

本實用新型涉及一種真空泵系統，尤指一種達成泵空載運轉時節能的真空泵系統。

背景技術

真空泵的主要目的，是在創造低于大氣壓力的真空環境，借以營造更加潔凈的環境、良好的工藝及產品質量，因此真空泵被廣泛應用于石化工業、制造業以及醫療業環境中。

在公知抽真空系統建制下，當工藝腔室真空條件已達成，便切斷泵與工藝腔室的連通，而此同時真空泵是處于空載運轉狀態。因吸入側與排出側存在著頗大壓差，此空載運轉耗功很大。

中國臺灣專利公告號I267581揭露一種真空排氣裝置，如圖1所示，其主要架構為一逆止閥2設于一主真空泵1的排出側，并加裝一輔助真空泵3與逆止閥2并聯。通過輔助真空泵3將主真空泵1的排出側壓力降低，縮小吸入側與排出側壓差，以節省主真空泵1于空轉狀態下的能量消耗。

然而，上述公知解決方案需額外提供一真空泵，顯然所費不貲，而且此額外真空泵亦有維修保養的必要，更增添系統整體成本負擔，因此并非十分理想。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種真空泵系統，使能節省真空泵于空載運轉時的耗電。

為達成上述目的，本實用新型的技術解決方案是：

一種真空泵系統包括一第一連通管路、一第二連通管路、一第三連通管路、一第一控制閥、一真空泵、及一逆止閥。上述真空泵包括有一吸入側、與一排出側。

上述第一連通管路分別連接于第一控制閥的一出氣端與真空泵吸入側，第二連通管路分別連接于第一控制閥的一入氣端與真空泵排出側，第三連通管路分別連接于真空泵排出側與逆止閥的一入氣端。真空泵的吸入側與排出側之間通過第一控制閥選擇式連通。上述逆止閥是設于第二連通管路之后。

上述真空泵的吸入側可通過一第四連通管路而連通至一工藝腔體，且第四連通管路上可組設有一第二控制閥。

通過上述系統，當真空泵吸入側所連通的工藝腔體已達所需壓力，且連接于工藝腔體與真空泵之間的第二控制閥已關閉，真空泵處于空載運轉時，此時第一控制閥即會打開，因真空泵排出側氣體再度被導回吸入側，氣體于泵內部循環、兩端壓力獲得平衡，避免了排出側氣體不斷被重復壓縮而耗功的情形，整個系統耗電也獲得極大改善。

真空泵系統還可包括一壓力傳感器、與一控制器，壓力傳感器是設于工藝腔體內，控制器分別電連接于壓力傳感器與第二控制閥，當控制器接收到壓力傳感器反應工藝腔體已達目標壓力的訊號，即關閉第二控制閥。

關于第一控制閥的自動控制設計至少有以下兩種。一為，通過上述第二控制閥的控制器來同時控制第一控制閥；或者，另設置一專用控制器負責第一控制閥的開閉。此兩種設計皆可設定當接收到工藝腔體與真空泵之間的第二控制閥已關閉的訊號，自動打開第一控制閥，使系統進入節能模式。

真空泵系統還可包括一消音器，組設于逆止閥的出氣端。

本實用新型的有益效果是，相較于公知的現有專利案需加裝一額外真空泵，本實用新型僅需加裝一電磁閥，不僅初期制造成本低，后續維修成本顯然亦為一優勢。

附圖說明

圖1是公知真空泵系統示意圖；

圖2是本實用新型第一較佳實施例的真空泵系統示意圖；

圖3是本實用新型第二較佳實施例的真空泵系統示意圖。

主要元件符號說明

主真空泵1????????????????逆止閥2

輔助真空泵3

工藝腔體11???????????????真空泵12

吸入側121????????????????排出側122

第一控制閥13?????????????入氣端131，141，151

出氣端132，142，152??????第二控制閥14

逆止閥15?????????????????消音器16

控制器17，19?????????????壓力傳感器18

第一連通管路L1???????????第二連通管路L2

第三連通管路L3????????????第四連通管路L4

具體實施方式

參考圖2，圖中為半導體工藝所使用的抽真空系統，包括有半導體相關的工藝腔體11、一真空泵12、一第一控制閥13、一第二控制閥14、一逆止閥15、一消音器16、一控制器17、及一壓力傳感器18。