[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體晶圓片高溫?cái)U(kuò)散舟

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020158956.1
• 申請(qǐng)日: 2010-04-15
• 公開（公告）號(hào): CN201681800U
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李秉永;呂明;郭城;魏繼昊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東科芯電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205
• 代理人: 張維斗

1.一種半導(dǎo)體晶圓片高溫?cái)U(kuò)散舟，包括有擋板，其特征是：所述的擋板包括前擋板和后擋板，在兩個(gè)擋板之間固定有多個(gè)碳化硅柱，另外，在前擋板上還固定有一舟頭。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓片高溫?cái)U(kuò)散舟，其特征是：所述的碳化硅柱為四個(gè)，分別為兩個(gè)碳化硅側(cè)柱和兩個(gè)碳化硅底柱。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓片高溫?cái)U(kuò)散舟，其特征是：所述的舟頭為圓弧形。