[實用新型]PECVD鍍膜專用硅片承載器

無效

• 申請號: 201020151512.5
• 申請日: 2010-03-29
• 公開（公告）號: CN201665709U
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 屈瑩;劉志剛;馮鑫
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 周祥生

1.一種PECVD鍍膜專用硅片承載器，它包括承載框架(1)、單面掛鉤(2)、雙面掛鉤(3)，單面掛鉤(2)和雙面掛鉤(3)均安裝在承載框架(1)上，其特征是：它還包括墊板(4)，所述雙面掛鉤(3)由托鉤(31)、鉤身(32)、定位槽(33)、扎帶(34)、壓迫凸臺(35)和折彎槽(36)組成，兩個托鉤(31)對稱地位于鉤身(32)底部的兩側，定位槽(33)位于鉤身(32)的上方，且處于兩根扎帶(34)之間，壓迫凸臺(35)設置在扎帶(34)的頂端，在兩扎帶(34)的外側等高度地設有折彎槽(36)，折彎槽(36)的開設位置要求是：當壓迫凸臺(35)沿折彎槽(36)向內側邊(37)折彎90°后，內側邊(37)到定位槽(33)底邊(38)的距離等于兩個墊板(4)厚度與掛鉤連接桿(11)厚度之和；所述墊板(4)呈“工”字形，在墊板(4)兩側設有扎帶槽(41)，扎帶槽(41)的寬度與扎帶(34)的厚度相當，兩扎帶槽(41)槽底(42)之間的距離與兩扎帶(34)的內側邊(37)之間的距離相當，托鉤(31)的頂尖與掛鉤連接桿(11)底邊的距離小于或等于硅片(5)的厚度；所述單面掛鉤(2)的結構與雙面掛鉤(3)相同，只比雙面掛鉤(3)少一只托鉤(31)；單面掛鉤(2)和雙面掛鉤(3)與掛鉤連接桿(11)的安裝方式相同，在掛鉤連接桿(11)的上端面和下端面均設置有墊板(4)，兩扎帶(34)插穿在墊板(4)的兩扎帶槽(41)中，定位槽(33)套裝在掛鉤連接桿(11)上，兩根扎帶(34)上端的壓迫凸臺(35)通過沿折彎槽(36)向內側邊(37)折彎90°的方式壓在墊板(4)的上端面上。