[實用新型]探針臺有效
| 申請號： | 201020148328.5 | 申請日： | 2010-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN201637765U | 公開（公告）日： | 2010-11-17 |
| 發明（設計）人： | 顧漢玉 | 申請（專利權）人： | 華潤賽美科微電子(深圳)有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518116 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 | ||
【權利要求書】：
1.一種探針臺，包括上蓋板、底座、支撐件、移動平臺以及吸盤，所述支撐件與上蓋板和底座連接，對上蓋板進行支撐，所述移動平臺設于上蓋板和底座之間，所述吸盤設于移動平臺上；其特征在于，所述支撐件設置于底座的外側。
2.根據權利要求1所述的探針臺，其特征在于，所述支撐件包括螺柱、安裝塊、固定塊，所述安裝塊內設有螺孔，所述螺柱一端與上蓋板連接，另一端插入所述螺孔；所述安裝塊設于與底座外側固定連接的固定塊上，使支撐件整體固定于底座的外側。
3.根據權利要求2所述的探針臺，其特征在于，所述安裝塊沿螺柱軸向可旋轉地與所述固定塊連接。
4.根據權利要求1-3中任意一項所述的探針臺，其特征在于，所述支撐件的數量為三個。
5.根據權利要求1-3中任意一項所述的探針臺，其特征在于，所述上蓋板與支撐件連接的部位凸出于底座邊緣。
6.根據權利要求1-3中任意一項所述的探針臺，其特征在于，所述上蓋板的中部設有圓形的通孔，所述通孔的直徑大于8英寸。
7.根據權利要求1-3中任意一項所述的探針臺，其特征在于，所述吸盤是與8英寸晶圓配合使用的吸盤。
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