[實用新型]連續真空鍍膜裝置

無效

• 申請號: 201020143845.3
• 申請日: 2010-03-24
• 公開（公告）號: CN201648512U
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發明（設計）人: 汪友林
• 申請（專利權）人: 深圳森豐真空鍍膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 深圳市中知專利商標代理有限公司 44101
• 代理人: 宋湘紅

技術領域

本實用新型屬于真空鍍膜領域，具體涉及一種真空鍍膜裝置。?

背景技術

現有的連續真空鍍膜裝置是在一個真空鍍膜室里通過擋板隔離并利用不同方式來鍍不同的膜層，例如在一個可用電子束蒸發、熱蒸發及磁控濺射等方式進行鍍膜的多功能連續鍍膜裝置中，在不做電子束蒸發或熱蒸發時，可做磁控濺射鍍膜。在做電子束蒸發或熱蒸發時，磁控濺射靶要撤到真空鍍膜壁附近，否則很容易靶材受到污染，所以操作繁瑣，且即使擋板把磁控濺射靶保護起來也很難做到靶材不受到任何污染，因此鍍膜質量很難保證。?

發明內容

本實用新型的目的在于針對現有真空鍍膜裝置存在的上述問題，提供一種能大大提高鍍膜效率、并且保證鍍膜質量的連續真空鍍膜裝置。?

本實用新型的目的是這樣實現的：本實用新型包括順序相連的入片室、加熱室、清洗室、鍍膜室、過渡室、冷卻室、出片室，相鄰的兩室之間通過真空鎖相連，在每個室的室壁上安裝有分子泵，在每個室內均設有用于承載及傳輸工件的傳輸機構。?

本實用新型的技術效果在于：本實用新型中的多個室及鍍膜室是?獨立并通過真空鎖相連的，可以根據工件貨品的需要靈活設置鍍膜室的個數及不同靶材和不同鍍膜方式的鍍膜室，從而可以采用最佳方式進行鍍膜，并且各個鍍膜室相互隔離，靶材不易受到污染，從而可以保證鍍膜質量。本實用新型結構設計合理，生產功效高，能夠實現工件上一層、二層或多層復合膜的連續制備并實現膜厚的實時監控，尤其對于兩面均需鍍膜的工件，鍍膜效率更是得到大幅度提高。?

附圖說明

圖1是實施例的俯視圖。?

圖2是實施例的主視圖。?

圖3是實施例的放大的右視圖。?

具體實施方式

參見圖1、圖2和圖3，本實施例的連續真空鍍膜裝置包括按前后順序依次相連的：入片室1、加熱室2、清洗室3、第一鍍膜室41、第一過渡室51、第二鍍膜室42、第二過渡室52、冷卻室6、出片室7；相鄰的兩室之間通過真空鎖8相連，真空鎖8是用于切斷或接通管路的真空系統元件，能夠在其關閉時隔絕不同真空空間；真空鎖8打開時，相鄰兩室相通，真空鎖8關閉時，相鄰兩室完全隔離，真空鎖8的結構屬現有成熟技術；在每個室的室壁上安裝有分子泵9，分子泵9用于維持每一室的壓強在一定的真空狀態，分子泵9的結構屬現有成熟技術；在清洗室3內設有一個離子源30；過渡室也稱為過渡真空處理室，設在鍍膜室之后，起到緩沖作用，本實施例在過渡室51、52設有膜厚實時監控探頭對膜厚進行監測，膜厚實時監控探頭也可安裝在鍍膜室上；在每個室內均設有用于承載和傳輸工件的傳輸?機構，本實施例中傳輸機構包括托輪13、載片車11和傳動齒輪12，在每個室內在傳輸方向上設有一組托輪13和一組傳動齒輪12，安裝托輪13的托輪座14固定在每個室的室壁上，所述載片車11載于托輪13上，載片車11兩側底部的錐形凸起與托輪13的錐形凹槽相配合使載片車11限位，傳動齒輪12與載片車11上的傳動齒條嚙合，傳動齒輪12與步進電機連接。由于連續作業提高效率，本實施例在每個室內都設有載片車11，它們載著各個工件沿著各個室的每組托輪13依次前進。?

參見圖1和圖2，在每個室的室壁上設有工藝輸入孔10，本實用新型中工藝輸入孔可為一至數個；在入片室1的前端和出片室7的后端設有門15，用于工件進出連續真空鍍膜裝置。?