[實用新型]連續(xù)真空鍍膜裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020143845.3
• 申請日: 2010-03-24
• 公開（公告）號: CN201648512U
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 汪友林
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳森豐真空鍍膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 深圳市中知專利商標(biāo)代理有限公司 44101
• 代理人: 宋湘紅

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于真空鍍膜領(lǐng)域，具體涉及一種真空鍍膜裝置。?

背景技術(shù)

現(xiàn)有的連續(xù)真空鍍膜裝置是在一個真空鍍膜室里通過擋板隔離并利用不同方式來鍍不同的膜層，例如在一個可用電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)及磁控濺射等方式進(jìn)行鍍膜的多功能連續(xù)鍍膜裝置中，在不做電子束蒸發(fā)或熱蒸發(fā)時，可做磁控濺射鍍膜。在做電子束蒸發(fā)或熱蒸發(fā)時，磁控濺射靶要撤到真空鍍膜壁附近，否則很容易靶材受到污染，所以操作繁瑣，且即使擋板把磁控濺射靶保護(hù)起來也很難做到靶材不受到任何污染，因此鍍膜質(zhì)量很難保證。?

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有真空鍍膜裝置存在的上述問題，提供一種能大大提高鍍膜效率、并且保證鍍膜質(zhì)量的連續(xù)真空鍍膜裝置。?

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：本實用新型包括順序相連的入片室、加熱室、清洗室、鍍膜室、過渡室、冷卻室、出片室，相鄰的兩室之間通過真空鎖相連，在每個室的室壁上安裝有分子泵，在每個室內(nèi)均設(shè)有用于承載及傳輸工件的傳輸機構(gòu)。?

本實用新型的技術(shù)效果在于：本實用新型中的多個室及鍍膜室是?獨立并通過真空鎖相連的，可以根據(jù)工件貨品的需要靈活設(shè)置鍍膜室的個數(shù)及不同靶材和不同鍍膜方式的鍍膜室，從而可以采用最佳方式進(jìn)行鍍膜，并且各個鍍膜室相互隔離，靶材不易受到污染，從而可以保證鍍膜質(zhì)量。本實用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，生產(chǎn)功效高，能夠?qū)崿F(xiàn)工件上一層、二層或多層復(fù)合膜的連續(xù)制備并實現(xiàn)膜厚的實時監(jiān)控，尤其對于兩面均需鍍膜的工件，鍍膜效率更是得到大幅度提高。?

附圖說明

圖1是實施例的俯視圖。?

圖2是實施例的主視圖。?

圖3是實施例的放大的右視圖。?

具體實施方式

參見圖1、圖2和圖3，本實施例的連續(xù)真空鍍膜裝置包括按前后順序依次相連的：入片室1、加熱室2、清洗室3、第一鍍膜室41、第一過渡室51、第二鍍膜室42、第二過渡室52、冷卻室6、出片室7；相鄰的兩室之間通過真空鎖8相連，真空鎖8是用于切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件，能夠在其關(guān)閉時隔絕不同真空空間；真空鎖8打開時，相鄰兩室相通，真空鎖8關(guān)閉時，相鄰兩室完全隔離，真空鎖8的結(jié)構(gòu)屬現(xiàn)有成熟技術(shù)；在每個室的室壁上安裝有分子泵9，分子泵9用于維持每一室的壓強在一定的真空狀態(tài)，分子泵9的結(jié)構(gòu)屬現(xiàn)有成熟技術(shù)；在清洗室3內(nèi)設(shè)有一個離子源30；過渡室也稱為過渡真空處理室，設(shè)在鍍膜室之后，起到緩沖作用，本實施例在過渡室51、52設(shè)有膜厚實時監(jiān)控探頭對膜厚進(jìn)行監(jiān)測，膜厚實時監(jiān)控探頭也可安裝在鍍膜室上；在每個室內(nèi)均設(shè)有用于承載和傳輸工件的傳輸?機構(gòu)，本實施例中傳輸機構(gòu)包括托輪13、載片車11和傳動齒輪12，在每個室內(nèi)在傳輸方向上設(shè)有一組托輪13和一組傳動齒輪12，安裝托輪13的托輪座14固定在每個室的室壁上，所述載片車11載于托輪13上，載片車11兩側(cè)底部的錐形凸起與托輪13的錐形凹槽相配合使載片車11限位，傳動齒輪12與載片車11上的傳動齒條嚙合，傳動齒輪12與步進(jìn)電機連接。由于連續(xù)作業(yè)提高效率，本實施例在每個室內(nèi)都設(shè)有載片車11，它們載著各個工件沿著各個室的每組托輪13依次前進(jìn)。?

參見圖1和圖2，在每個室的室壁上設(shè)有工藝輸入孔10，本實用新型中工藝輸入孔可為一至數(shù)個；在入片室1的前端和出片室7的后端設(shè)有門15，用于工件進(jìn)出連續(xù)真空鍍膜裝置。?