[實用新型]連續真空鍍膜裝置無效
| 申請號： | 201020143845.3 | 申請日： | 2010-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN201648512U | 公開（公告）日： | 2010-11-24 |
| 發明（設計）人： | 汪友林 | 申請（專利權）人： | 深圳森豐真空鍍膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市中知專利商標代理有限公司 44101 | 代理人： | 宋湘紅 |
| 地址： | 518101 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 連續 真空鍍膜 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種連續真空鍍膜裝置，其特征在于：包括順序相連的入片室、加熱室、清洗室、鍍膜室、過渡室、冷卻室、出片室，相鄰的兩室之間通過真空鎖相連，在每個室的室壁上安裝有分子泵；還設有用于承載和傳輸工件的傳輸機構。
2.根據權利要求1所述的連續真空鍍膜裝置，其特征在于：所述鍍膜室設有一至數個，在每個鍍膜室之后均設有一個過渡室，它們依次相接并由真空鎖連接。
3.根據權利要求1或2所述的連續真空鍍膜裝置，其特征在于：在所述清洗室內設有一個、兩個或多個離子源。
4.根據權利要求1或2所述的連續真空鍍膜裝置，其特征在于：在所述鍍膜室或過渡室設有膜厚實時監控探頭。
5.根據權利要求1或2所述的連續真空鍍膜裝置，其特征在于：所述傳輸機構包括托輪、載片車和傳動齒輪，在每個室內在傳輸方向上設有一組托輪和一組傳動齒輪，安裝托輪的托輪座固定在每個室的室壁上，所述載片車載于托輪上，所述傳動齒輪與載片車上的傳動齒條嚙合。
6.根據權利要求1或2所述的連續真空鍍膜裝置，其特征在于：在每個室的室壁上設有一至數個工藝輸入孔。
7.根據權利要求1或2所述的連續真空鍍膜裝置，其特征在于：在入片室的前端和出片室的后端設有門。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于深圳森豐真空鍍膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司，未經深圳森豐真空鍍膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201020143845.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
