[實(shí)用新型]用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020143802.5
• 申請日: 2010-03-30
• 公開（公告）號: CN201622288U
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫靜;孫曉穎
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 石家莊國為知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120
• 代理人: 米文智

1.一種用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具，包括夾具本體(1)、設(shè)置在夾具本體(1)兩端的輸入端射頻組件和輸出端射頻組件以及設(shè)置在夾具本體(1)上并與輸入端射頻組件和輸出端射頻組件相連的芯片載體(6)，其特征在于，所述的夾具本體(1)呈“凹”字形，輸入端射頻組件和輸出端射頻組件分別借助于緊固件連接在夾具本體(1)的兩個(gè)“凹”字形端面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具，其特征在于所述的輸入端射頻組件包括輸入端擋板(2)和設(shè)在輸入端擋板(2)上的輸入端同軸接頭(4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具，其特征在于所述的輸出端射頻組件包括輸出端擋板(7)和設(shè)在輸出端擋板(7)上的輸出端同軸接頭(8)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具，其特征在于所述的輸入端擋板(4)和輸出端擋板(7)為長方形的平板，上述的平板上設(shè)有定位孔(13)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具，其特征在于所述的定位孔(13)設(shè)置為長方形或者槽形，且長方形的定位孔的長邊或者槽形的定位孔的直邊與所述的輸入端擋板(4)或者輸出端擋板(7)的一個(gè)邊平行。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具，其特征在于所述的夾具本體(1)上設(shè)有與定位孔(13)相對應(yīng)、并與緊固件相配合的螺紋孔(14)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具，其特征在于所述的夾具本體(1)、輸入端射頻組件、輸出端射頻組件和芯片載體(6)均采用金屬材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具，其特征在于所述的芯片載體(6)上設(shè)有與待測芯片(3)相連的輸入微帶線(9)和輸出微帶線(10)，輸入微帶線(9)和輸出微帶線(10)的另一端分別與所述的輸入端同軸接頭(4)和輸出端同軸接頭(8)相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于半導(dǎo)體芯片射頻測試的夾具，其特征在于所述的輸入微帶線(9)和輸出微帶線(10)采用導(dǎo)電膠或者金錫焊料固定在芯片載體(6)上。