[實用新型]勻膠機電機旋轉臺

無效

• 申請號: 201020137961.4
• 申請日: 2010-03-23
• 公開（公告）號: CN201628841U
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 王衛華;王偉民;趙付超;張飛特;杜民棟;崔曉改;張建軍
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二研究所
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 山西科貝律師事務所 14106
• 代理人: 張樂中

技術領域

本實用新型涉及一種旋轉臺，特別涉及一種用于對晶圓片的自動旋涂的均膠機中的電機驅動旋轉臺。

背景技術

勻膠機是通過晶圓片的旋轉使其上感光膠在晶圓片上均勻分布。在勻膠機電機旋轉臺高速旋轉過程中，部分感光膠擴散成飛絮狀物質，這些飛絮狀物質通過旋轉臺上的排風口很容易黏附在旋轉電機軸上并進入電機內部，對電機內部及旋轉軸造成破壞，使勻膠機維護困難，使用壽命縮短。

發明內容

本實用新型提供了一種勻膠機電機旋轉臺解決了現有勻膠機電機旋轉臺維護困難，使用壽命縮短的問題。

本實用新型是通過以下方案解決以上問題的：

勻膠機電機旋轉臺，包括中央設置有圓形孔的方形臺板、中央設置有通孔的旋涂臺下板、中央底部設置有通孔的盛膠盤嵌套、中間底部設置有通孔的盛膠盤和旋轉電機輸出軸，在所述的方形臺板與旋涂臺下板之間設置有盛膠盤嵌套，在盛膠盤嵌套中鑲嵌設置有盛膠盤，方形臺板與旋涂臺下板是通過四個固定螺栓連接在一起，在盛膠盤下方的盛膠盤嵌套和旋涂臺下板上設置有排風孔，旋轉電機輸出軸從旋涂臺下板的中央通孔和盛膠盤嵌套的中央通孔通過伸到盛膠盤中，在旋轉電機輸出軸的端部設置有真空螺釘，在真空螺釘上吸附有晶圓片，在伸入旋涂臺下板的中央通孔內的旋轉電機輸出軸的端部套接有凸臺保護套。方形臺板是通過螺栓固定在勻膠機的架體上的。

本實用新型保證了電機旋轉軸表面的清潔，提高了電機的使用壽命，保證了電機旋轉過程中動平衡性能。

附圖說明：

圖1是本實用新型的結構示意圖

具體實施方式

勻膠機電機旋轉臺，包括中央設置有圓形孔的方形臺板1、中央設置有通孔的旋涂臺下板3)中央底部設置有通孔的盛膠盤嵌套4、中間底部設置有通孔的盛膠盤5和旋轉電機輸出軸7，在所述的方形臺板1與旋涂臺下板3之間設置有盛膠盤嵌套4，在盛膠盤嵌套4中鑲嵌設置有盛膠盤5，方形臺板1與旋涂臺下板3是通過四個固定螺栓2連接在一起，在盛膠盤5下方的盛膠盤嵌套4和旋涂臺下板3上設置有排風孔6，旋轉電機輸出軸7從旋涂臺下板3的中央通孔和盛膠盤嵌套4的中央通孔通過伸到盛膠盤5中，在旋轉電機輸出軸7的端部設置有真空螺釘9，在真空螺釘9上吸附有晶圓片10，在伸入旋涂臺下板3的中央通孔內的旋轉電機輸出軸7的端部套接有凸臺保護套8。

方形臺板1是通過螺栓固定在勻膠機的架體上的。

在電機工作時高速旋轉，在相對獨立空間內產生斡旋氣流，在此過程中，部分感光膠擴散成飛絮狀物質，其中一部分飛絮狀物質在排風機構作用下進入排風系統，但仍有一部分隨斡旋氣流吸附在電機旋轉軸上，甚至進入電機內部，對電機內部及電機旋轉軸造成腐蝕和破壞；同時也會降低電機高速旋轉時的旋轉部件動平衡性能，旋轉電機軸端設置的凸臺保護套8使飛絮狀物質不能夠黏附在電機軸上，保證了電機旋轉軸表面的清潔，提高了電機的使用壽命，保證了電機旋轉過程中動平衡性能。提高了產品的涂敷質量和良品率。