[實(shí)用新型]勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020137961.4
• 申請(qǐng)日: 2010-03-23
• 公開（公告）號(hào): CN201628841U
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王衛(wèi)華;王偉民;趙付超;張飛特;杜民棟;崔曉改;張建軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 山西科貝律師事務(wù)所 14106
• 代理人: 張樂中

1.一種勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，包括中央設(shè)置有圓形孔的方形臺(tái)板(1)、中央設(shè)置有通孔的旋涂臺(tái)下板(3)、中央底部設(shè)置有通孔的盛膠盤嵌套(4)、中間底部設(shè)置有通孔的盛膠盤(5)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)，其特征在于，在所述的方形臺(tái)板(1)與旋涂臺(tái)下板(3)之間設(shè)置有盛膠盤嵌套(4)，在盛膠盤嵌套(4)中鑲嵌設(shè)置有盛膠盤(5)，方形臺(tái)板(1)與旋涂臺(tái)下板(3)是通過四個(gè)固定螺栓(2)連接在一起，在盛膠盤(5)下方的盛膠盤嵌套(4)和旋涂臺(tái)下板(3)上設(shè)置有排風(fēng)孔(6)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)從旋涂臺(tái)下板(3)的中央通孔和盛膠盤嵌套(4)的中央通孔通過伸到盛膠盤(5)中，在旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)的端部設(shè)置有真空螺釘(9)，在真空螺釘(9)上吸附有晶圓片(10)，在伸入旋涂臺(tái)下板(3)的中央通孔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)的端部套接有凸臺(tái)保護(hù)套(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，方形臺(tái)板(1)是通過螺栓固定在勻膠機(jī)的架體上的。