[實(shí)用新型]鏡面反射表面的形狀測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020136552.2
• 申請(qǐng)日: 2010-02-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201803705U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S·波塔彭科
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 劉佳

優(yōu)先權(quán)

本申請(qǐng)要求2009年2月24日提交的題為“Shape?Measurement?of?Specular?Reflective?Surface”的美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)12/391,585的優(yōu)先權(quán)。?

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型一般涉及用于測(cè)量物體形狀的光學(xué)裝置。更具體地講，本實(shí)用新型涉及用于測(cè)量具有鏡面反射表面的物體的形狀的裝置。?

背景技術(shù)

熔融拉伸工藝被用于從熔化的材料(比如熔化的玻璃)中制造出材料板(參見(jiàn)美國(guó)專(zhuān)利3,338,696和美國(guó)專(zhuān)利3,682,609)。通常，熔融拉伸工藝包括：將熔化的材料傳遞到一料槽中；并且以可控的方式使該熔化的材料從該料槽的側(cè)面向下溢出。沿著該料槽側(cè)面向下流動(dòng)的分開(kāi)的多股材料流在該料槽底部匯合成單一的一股材料流，該單一的一股材料流被拉成連續(xù)的材料板。在熔融拉伸機(jī)器底部，該連續(xù)的材料板被分成多個(gè)獨(dú)立的片。該工藝的關(guān)鍵優(yōu)點(diǎn)是，該材料板的表面并不接觸該料槽的側(cè)面或其它形成設(shè)備，因此是干凈的。該工藝的另一個(gè)益處是，該材料板非常平整并且具有均勻的厚度(美國(guó)專(zhuān)利3,682,609)。?

在制造大平板顯示器的過(guò)程中，通過(guò)熔融拉伸工藝所生產(chǎn)的大玻璃板是關(guān)鍵的部件。或者，它們可以被切割，以制造其它設(shè)備，比如有源電子設(shè)備、光生伏打設(shè)備和生物學(xué)陣列。然而，隨著對(duì)更大的大尺寸的板的需求不斷增長(zhǎng)，形成并處理這些板的難度也越來(lái)越大。例如，在熔融拉伸機(jī)器底部的板劃線與分離處理顯著地有助于在熔融拉伸機(jī)器的形成區(qū)域中的板移動(dòng)。該形成區(qū)域中的板移動(dòng)可能對(duì)板內(nèi)部的應(yīng)力水平和應(yīng)力變化帶來(lái)不利的影響，有可能導(dǎo)致最終產(chǎn)品有變形。所處理的板越大，板移動(dòng)對(duì)板內(nèi)的應(yīng)力水平和變化的影響就越顯著。?

康寧公司，即本實(shí)用新型的受讓人，已經(jīng)開(kāi)發(fā)了用于使所述拉伸的底部處的板移動(dòng)達(dá)到最少的各種技術(shù)。一種這樣的技術(shù)包括用激光對(duì)玻璃板進(jìn)行劃線，由此避免與玻璃板進(jìn)行物理接觸，物理接觸可能導(dǎo)致板移動(dòng)(Abramov等人的美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)US12/008949)。另一種技術(shù)包括在玻璃板被劃線時(shí)使用合適的梯段坡度設(shè)備(nosing?device)嚙合著該玻璃板，由此在劃線期間減少該玻璃板的移動(dòng)(Chalk等人的美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)2008/0276646)。另一種技術(shù)包括分離該玻璃板而不使該玻璃板彎曲(Kemmerer等人的美國(guó)專(zhuān)利公報(bào)US2007/0039990)。這些技術(shù)需要關(guān)于玻璃板的位移和形狀的實(shí)時(shí)信息。在所述FDM的不同高度處的此類(lèi)信息也可以用于精細(xì)調(diào)節(jié)和優(yōu)化該拉伸處理。?