[實用新型]鏡面反射表面的形狀測量裝置有效
| 申請號： | 201020136552.2 | 申請日： | 2010-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN201803705U | 公開（公告）日： | 2011-04-20 |
| 發明（設計）人： | S·波塔彭科 | 申請（專利權）人： | 康寧股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 劉佳 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 反射 表面 形狀 測量 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于測量鏡面反射表面的形狀的裝置，所述裝置包括：
目標，在其表面上顯示有圖案；
照相機，它所具有的記錄介質用于記錄從所述鏡面反射表面中產生的圖案的反射的圖像；
數據分析器，配置成從第一關系和第二關系中確定所述鏡面反射表面的形狀，所述第一關系是所述反射的圖像上的特征位置與所述圖案上的特征位置之間的關系，所述第二關系包括所述鏡面反射表面的表面分布和所述第一關系。
2.如權利要求1所述的裝置，還包括：
光源，用于照亮所述目標的表面。
3.如權利要求1或2所述的裝置，還包括：
位移傳感器的線性陣列，用于測量所述鏡面反射表面上的多個點相對于參考平面的位置。?
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