[實用新型]承載器晶片保護裝置無效

申請號：	201020123837.2	申請日：	2010-03-05
公開（公告）號：	CN201708139U	公開（公告）日：	2011-01-12
發明（設計）人：	高慧瑩;劉濤;張領強	申請（專利權）人：	中國電子科技集團公司第四十五研究所
主分類號：	H01L21/683	分類號：	H01L21/683
代理公司：	石家莊新世紀專利商標事務所有限公司 13100	代理人：	董金國
地址：	065201 河北省***	國省代碼：	河北;13
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摘要：
搜索關鍵詞：	承載晶片保護裝置
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【權利要求書】：

1.一種承載器晶片保護裝置，它包括主軸、軸承座、固定在軸承座下端的吸盤、與吸盤下端面密封固定的蓋板和吸附在蓋板下端面上的陶瓷盤，其特征是所述吸盤(10)沿徑向對稱設有二個鎖舌(11)，且鎖舌(11)與吸盤(10)滑動配合，鎖舌(11)的里端與吸盤(10)間設有復位彈簧(3)，所述陶瓷盤(13)設有防脫防護圈(16)，防脫防護圈(16)下端設有供承托陶瓷盤(13)的內凸緣，防脫防護圈(16)上端內側設有與所述鎖舌(11)外端卡接的凹槽。

2.根據權利要求1所述的承載器晶片保護裝置，其特征是所述鎖舌(11)上設有供扳動的把手(1)。

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