[實用新型]具有上部斷熱材的單晶爐裝置

有效

• 申請號: 201020118205.7
• 申請日: 2010-02-25
• 公開（公告）號: CN201614429U
• 公開（公告）日: 2010-10-27
• 發明（設計）人: 舟橋啟;賀賢漢;河野貴之
• 申請（專利權）人: 上海漢虹精密機械有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/10
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

技術領域

本實用新型涉及一種硅單晶制造裝置，特別是涉及一種單晶爐裝置。

背景技術

單晶硅一般用CZ法制造。CZ法指的是在單晶爐內設置石英坩堝，并將硅料裝入石英坩堝內，再依靠安裝在石英坩堝周圍的加熱器使硅料熔化，后把安裝在籽晶夾頭上的籽晶進入熔液，并通過籽晶夾頭與石英坩堝的相互逆轉進而制造出規定直徑和長度的單晶棒。此時，為了遮蔽熔液的熱量，在石英坩堝上方設置圍繞單晶棒的熱屏。

請參閱圖1，現有的單晶爐裝置通常包括熱屏。該熱屏13可以是由熱屏罩21和斷熱材22所組成。斷熱材22環繞拉晶中的單晶棒11，斷熱材22的外周可以全部被熱屏罩21覆蓋，也可以是斷熱材22的外周和內周全部被熱屏罩21覆蓋。熱屏13位于石英坩堝12的上方。

雖然在石英坩堝12上方設置圍繞單晶棒11的熱屏12，能夠一定程度上遮蔽熔液的熱量，但是，熱屏12設置在支撐體上，在熱屏12和支撐體的相互連接處，熔液的熱量很容易從此處散開。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種單晶爐裝置，在熱屏和支撐體的相互連接處，熔液的熱量很容易從此處散開的技術問題。

一種具有上部斷熱材的單晶爐裝置，在單晶爐內設置石英坩堝，并將硅料裝設石英坩堝內，并且在石英坩堝周圍設置一使硅料熔化的加熱器，在石英坩堝的上部設置熱屏，熱屏是通過支撐體設置在單晶爐裝置的殼內，在熱屏和支撐體的相互連接處設置一上部斷熱材。

上部斷熱材可以為環狀。

支撐體上設置有凸臺，熱屏的上部直接放置在該凸臺上，所述上部斷熱材設置在熱屏的上部。

附圖說明

圖1為現有的單晶爐裝置的實施例示意圖；

圖2為本實用新型單晶爐裝置的實施例示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖，進一步說明本實用新型。

實施例

請參閱圖2，其為一種具有上部斷熱材的單晶爐裝置的結構示意圖。在單晶爐17內設置石英坩堝12，并將硅料14裝設石英坩堝12內，并且在石英坩堝12周圍設置一使硅料熔化的加熱器15，在石英坩堝12的上部設置熱屏13，熱屏13是通過支撐體16設置在單晶爐裝置的殼內，在熱屏13和支撐體16的連接處設置一上部斷熱材21。

在實例中，上部斷熱材21為環狀。

支撐體16上設置有凸臺161，熱屏13的上部直接放置在該凸臺161上，上部斷熱材21設置在熱屏13的上部。

上部斷熱材21的材質為石墨或C/C復合材料。

本實用新型通過實驗，得到了如下結果。

95kg裝料、拉制直徑6.5英寸的晶棒時，使用本實用新型的熱屏，將平均拉速由以前的0.95mm/min提高至1.4mm/min實現了高速拉晶、拉晶時間縮短8.7小時。拉晶時的電力消耗降低了35％。