[實(shí)用新型]具有上部斷熱材的單晶爐裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201020118205.7 | 申請(qǐng)日： | 2010-02-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201614429U | 公開（公告）日： | 2010-10-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 舟橋啟;賀賢漢;河野貴之 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海漢虹精密機(jī)械有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B15/00 | 分類號(hào)： | C30B15/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200444 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 上部 斷熱材 單晶爐 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種具有上部斷熱材的單晶爐裝置，在單晶爐內(nèi)設(shè)置石英坩堝，并將硅料裝設(shè)石英坩堝內(nèi)，并且在石英坩堝周圍設(shè)置一使硅料熔化的加熱器，在石英坩堝的上部設(shè)置熱屏，熱屏是通過支撐體設(shè)置在單晶爐裝置的殼內(nèi)，其特征在于，在熱屏和支撐體的連接處設(shè)置一上部斷熱材。
2.如權(quán)利要求1所述的具有上部斷熱材的單晶爐裝置，其特征在于，上部斷熱材為環(huán)狀。
3.如權(quán)利要求1所述的具有上部斷熱材的單晶爐裝置，其特征在于，支撐體上設(shè)置有凸臺(tái)，熱屏的上部搭設(shè)在該凸臺(tái)上，所述上部斷熱材設(shè)置在熱屏的上部。
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