[實(shí)用新型]硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020056619.1
• 申請日: 2010-01-15
• 公開（公告）號: CN201632469U
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左國軍
• 申請（專利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司
• 主分類號: B08B15/04
• 分類號: B08B15/04;B08B9/032
• 代理公司: 深圳市康弘知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽;孫潔敏

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種硅片清洗設(shè)備，尤其涉及硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道。

背景技術(shù)

近年來太陽能產(chǎn)業(yè)作為一種新能源技術(shù)得到快速發(fā)展，但作為新興的技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，其在諸多技術(shù)環(huán)節(jié)還存在不足。其中在太陽能電池片制備過程，需要對硅片進(jìn)行清洗。在清洗設(shè)備中，各種酸性或堿性清洗劑會產(chǎn)生有害氣體，如果不及時抽走有害氣體，對設(shè)備和操作人員有較大的危害。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有硅片清洗設(shè)備中，各種酸性或堿性清洗劑會產(chǎn)生有害氣體，危害設(shè)備和操作人員的缺陷，提供一種硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道，其能在硅片清洗過程中及時抽走有害氣體。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：一種硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道，包括設(shè)置在設(shè)備箱體內(nèi)部上方的抽風(fēng)道，和穿透設(shè)備箱體上壁與抽風(fēng)道連通的抽風(fēng)口法蘭；在抽風(fēng)道側(cè)壁上設(shè)有多個抽風(fēng)孔及分別與抽風(fēng)孔配合的風(fēng)量調(diào)節(jié)板。

所述抽風(fēng)道內(nèi)部還設(shè)有噴淋管，在抽風(fēng)道底部設(shè)有連通到設(shè)備箱體外部的廢水排放管路。

所述在抽風(fēng)口法蘭上還設(shè)有調(diào)節(jié)閥，調(diào)節(jié)閥包括位于抽風(fēng)口法蘭外部的旋鈕和位于抽風(fēng)口法蘭內(nèi)部的擋風(fēng)板；調(diào)節(jié)閥設(shè)置位置高于設(shè)備箱體上壁平面。

所述設(shè)備箱體內(nèi)帶有清洗處理工作面，抽風(fēng)道設(shè)置在臨近清洗處理工作面處；抽風(fēng)道靠近清洗處理工作面一側(cè)的抽風(fēng)孔為前部抽風(fēng)孔，抽風(fēng)道遠(yuǎn)離清洗處理工作面一側(cè)的抽風(fēng)孔為后部抽風(fēng)孔。

所述抽風(fēng)道遠(yuǎn)離清洗處理工作面一側(cè)偏下方處還設(shè)有風(fēng)道清理窗口。

所述風(fēng)量調(diào)節(jié)板上帶有跟抽風(fēng)孔相對應(yīng)的開孔，每個風(fēng)量調(diào)節(jié)板上設(shè)有至少兩枚與抽風(fēng)道側(cè)壁螺紋配合的調(diào)節(jié)螺栓；風(fēng)量調(diào)節(jié)板與調(diào)節(jié)螺栓配合處為條形孔，故風(fēng)量調(diào)節(jié)板與調(diào)節(jié)螺栓滑配。

本實(shí)用新型通過設(shè)置抽風(fēng)道和抽風(fēng)口法蘭，并在抽風(fēng)道側(cè)壁設(shè)置抽風(fēng)孔和風(fēng)量調(diào)節(jié)板構(gòu)成抽風(fēng)裝置；在抽風(fēng)口法蘭連接相應(yīng)抽氣設(shè)備后，這種抽風(fēng)裝置通過清洗槽面上方的抽風(fēng)孔把操作區(qū)域的廢氣經(jīng)抽風(fēng)道及時抽走，補(bǔ)充新鮮空氣進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部；抽風(fēng)道后部開有風(fēng)道清理窗口，能滿足人工清理整個抽風(fēng)道內(nèi)的結(jié)晶或粉塵的要求；另外，抽風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有噴淋管，可自動定時清洗抽風(fēng)道，廢水由排放管道進(jìn)入用戶廢水處理系統(tǒng)。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明：

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示一種硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道，包括設(shè)置在設(shè)備箱體11內(nèi)部上方的抽風(fēng)道2，和穿透設(shè)備箱體11上壁與抽風(fēng)道2連通的抽風(fēng)口法蘭7；在抽風(fēng)道2側(cè)壁上設(shè)有多個抽風(fēng)孔及分別與抽風(fēng)孔配合的風(fēng)量調(diào)節(jié)板8。其中抽風(fēng)道2優(yōu)選為不規(guī)則的多邊形通道。所述抽風(fēng)道2內(nèi)部還設(shè)有噴淋管4，在抽風(fēng)道2底部設(shè)有連通到設(shè)備箱體11外部的廢水排放管路5。噴淋管4是用來清洗抽風(fēng)道，故噴口朝向抽風(fēng)道2側(cè)壁，噴淋只在需要的時候開啟。在抽風(fēng)口法蘭7上還設(shè)有調(diào)節(jié)閥6，調(diào)節(jié)閥6包括位于抽風(fēng)口法蘭7外部的旋鈕和位于抽風(fēng)口法蘭7內(nèi)部的擋風(fēng)板；調(diào)節(jié)閥6設(shè)置位置高于設(shè)備箱體11上壁平面。所述設(shè)備箱體11內(nèi)帶有清洗處理工作面10，抽風(fēng)道2設(shè)置在臨近清洗處理工作面10處；抽風(fēng)道2靠近清洗處理工作面10一側(cè)的抽風(fēng)孔為前部抽風(fēng)孔9，抽風(fēng)道2遠(yuǎn)離清洗處理工作面10一側(cè)的抽風(fēng)孔為后部抽風(fēng)孔1。設(shè)備后部抽風(fēng)孔1可抽走設(shè)備后部泄露的酸、堿等氣體，防止設(shè)備后部元器件腐蝕。在抽風(fēng)道2遠(yuǎn)離清洗處理工作面10一側(cè)偏下方處還設(shè)有風(fēng)道清理窗口3。所述風(fēng)量調(diào)節(jié)板8上帶有跟抽風(fēng)孔相對應(yīng)的開孔，每個風(fēng)量調(diào)節(jié)板8上設(shè)有至少兩枚與抽風(fēng)道2側(cè)壁螺紋配合的調(diào)節(jié)螺栓；風(fēng)量調(diào)節(jié)板8與調(diào)節(jié)螺栓配合處為條形孔，故風(fēng)量調(diào)節(jié)板8與調(diào)節(jié)螺栓滑配。拉動調(diào)節(jié)螺栓使抽風(fēng)孔與風(fēng)量調(diào)節(jié)板8上孔錯開，減少風(fēng)量。相反，使抽風(fēng)孔與風(fēng)量調(diào)節(jié)板8上空重合，風(fēng)量最大。風(fēng)量調(diào)節(jié)板8設(shè)置后，可根據(jù)實(shí)際抽風(fēng)需要調(diào)節(jié)風(fēng)量大小，滿足設(shè)備抽風(fēng)量的要求。

參照圖1，實(shí)施時更具體的抽風(fēng)口法蘭7與設(shè)備放置車間的抽風(fēng)管道相連，通過抽風(fēng)管道對設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行抽風(fēng)，調(diào)節(jié)閥6和風(fēng)量調(diào)節(jié)板8可調(diào)節(jié)風(fēng)量大小。抽風(fēng)道2內(nèi)可設(shè)有噴淋管由氣動閥控制，可以自動或手動在PLC中控制開啟噴淋管4進(jìn)行自動清洗，廢水由廢水排放管路5進(jìn)入用戶廢水處理系統(tǒng)。所述風(fēng)道清理窗口3在抽風(fēng)道后部，均勻分布，可手動打開，人工對抽風(fēng)道進(jìn)行清理。前部抽風(fēng)孔9開在臨近清洗處理工作面10的上部，設(shè)備內(nèi)部廢氣通過抽風(fēng)孔進(jìn)入抽風(fēng)道，實(shí)現(xiàn)對設(shè)備內(nèi)部的通風(fēng)。當(dāng)然前述抽風(fēng)道2形狀的變更和變化應(yīng)落入本抽風(fēng)道專利的保護(hù)范圍之內(nèi)。