[實(shí)用新型]硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020056619.1
• 申請(qǐng)日: 2010-01-15
• 公開（公告）號(hào): CN201632469U
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左國(guó)軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): B08B15/04
• 分類號(hào): B08B15/04;B08B9/032
• 代理公司: 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽(yáng);孫潔敏

1.一種硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道，其特征在于：包括設(shè)置在設(shè)備箱體(11)內(nèi)部上方的抽風(fēng)道(2)，和穿透設(shè)備箱體(11)上壁與抽風(fēng)道(2)連通的抽風(fēng)口法蘭(7)；在抽風(fēng)道(2)側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)抽風(fēng)孔及分別與抽風(fēng)孔配合的風(fēng)量調(diào)節(jié)板(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道，其特征在于：所述抽風(fēng)道(2)內(nèi)部還設(shè)有噴淋管(4)，在抽風(fēng)道(2)底部設(shè)有連通到設(shè)備箱體(11)外部的廢水排放管路(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道，其特征在于：所述在抽風(fēng)口法蘭(7)上還設(shè)有調(diào)節(jié)閥(6)，調(diào)節(jié)閥(6)包括位于抽風(fēng)口法蘭(7)外部的旋鈕和位于抽風(fēng)口法蘭(7)內(nèi)部的擋風(fēng)板；調(diào)節(jié)閥(6)設(shè)置位置高于設(shè)備箱體(11)上壁平面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道，其特征在于：所述設(shè)備箱體(11)內(nèi)帶有清洗處理工作面(10)，抽風(fēng)道(2)設(shè)置在臨近清洗處理工作面(10)處；抽風(fēng)道(2)靠近清洗處理工作面(10)一側(cè)的抽風(fēng)孔為前部抽風(fēng)孔(9)，抽風(fēng)道(2)遠(yuǎn)離清洗處理工作面(10)一側(cè)的抽風(fēng)孔為后部抽風(fēng)孔(1)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道，其特征在于：所述抽風(fēng)道(2)遠(yuǎn)離清洗處理工作面(10)一側(cè)偏下方處還設(shè)有風(fēng)道清理窗口(3)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道，其特征在于：所述風(fēng)量調(diào)節(jié)板(8)上帶有跟抽風(fēng)孔相對(duì)應(yīng)的開孔，每個(gè)風(fēng)量調(diào)節(jié)板(8)上設(shè)有至少兩枚與抽風(fēng)道(2)側(cè)壁螺紋配合的調(diào)節(jié)螺栓；風(fēng)量調(diào)節(jié)板(8)與調(diào)節(jié)螺栓配合處為條形孔，故風(fēng)量調(diào)節(jié)板(8)與調(diào)節(jié)螺栓滑配。