[實用新型]化學機械拋光設備的硅片固定裝置

無效

• 申請號: 201020036339.4
• 申請日: 2010-01-18
• 公開（公告）號: CN201573111U
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發明（設計）人: 斯健全;瞿治軍;金新
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;H01L21/304
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 張驥

1.一種化學機械拋光設備的硅片固定裝置，包括多個底部滾軸，設置于處于垂直狀態的硅片的底部，所述底部滾軸設有滾軸旋轉機構；其特征在于：所述硅片的頂部還設置有多個頂部滾軸，頂部滾軸的初始位置偏離硅片的正上方；所述頂部滾軸設有滾軸平移機構。

2.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備的硅片固定裝置，其特征在于：所述頂部滾軸設有滾軸旋轉機構。

3.根據權利要求1或2所述的化學機械拋光設備的硅片固定裝置，其特征在于：所述滾軸平移機構包括滑塊、絲桿、平動馬達，所述頂部滾軸通過滑塊連接絲桿，絲桿的尾端連接平動馬達；滑塊套設于絲桿上，滑塊與絲桿之間為螺紋連接；平動馬達能夠使頂部滾軸在水平方向上平動。

4.根據權利要求3所述的化學機械拋光設備的硅片固定裝置，其特征在于：所述滑塊的頂部通過彈簧連接氣缸；氣缸能夠使頂部滾軸在垂直方向上平動。

5.根據權利要求3所述的化學機械拋光設備的硅片固定裝置，其特征在于：所述多個頂部滾軸通過同一個平動馬達驅動，或者每個頂部滾軸分別通過平動馬達驅動。

6.根據權利要求2所述的化學機械拋光設備的硅片固定裝置，其特征在于：所述頂部滾軸的滾軸旋轉機構包括皮帶輪、皮帶、驅動帶、旋轉馬達；多個頂部滾軸分別連接皮帶輪，各皮帶輪通過皮帶連接；其中一個皮帶輪通過驅動帶連接一旋轉馬達；旋轉馬達能夠通過驅動帶和皮帶帶動多個頂部滾軸同步旋轉。

7.根據權利要求6所述的化學機械拋光設備的硅片固定裝置，其特征在于：所述頂部滾軸的旋轉馬達與底部滾軸的滾軸旋轉機構的旋轉馬達的性能參數相同，馬達的旋轉方向相同。

8.根據權利要求6所述的化學機械拋光設備的硅片固定裝置，其特征在于：所述皮帶的直徑為8cm，驅動帶的直徑為12cm，橫截面直徑為0.5cm。