[實用新型]測試樣品裝卸輔助裝置

有效

• 申請號: 201020033228.8
• 申請日: 2010-01-19
• 公開（公告）號: CN201611371U
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 李剛;劉云海;鄭鵬飛
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體芯片測試領域，更具體來說是一種用于將測試樣品裝載到測試基座和從測試基座下載的輔助裝置。

背景技術

老化(Burn-In)、早期失效率(Early?Failure?Rate)、高溫工作壽命(HighTemperature?Operating?Life)等測試是半導體芯片可靠性實驗中非常重要的測試項目。

在半導體制造企業，通常采用測試基座(socket)承載測試樣品(sample)，一個或者多個測試基座布置在測試板上。測試基座包括管腳接觸針(PinContact?Tip)，一方面連接到測試板的測試電路，另一方面提供與測試樣品的管腳之間的良好接觸。測試基座周圍還對應設置有壓緊機構，壓緊機構在自然狀態下(也即工作狀態下)能夠將測試樣品鎖定在測試基座上，以確保測試樣品的管腳與管腳接觸針緊密接觸。

壓緊機構可以為每個測試基座旁設置一個，也可以為均布在測試基座相對兩側的兩個或者均布在測試基座四周的四個，以使得測試樣品受力更加均勻。在進行測試之前，工程師需要開啟壓緊機構，將測試樣品裝載到測試基座，放開壓緊機構；測試完畢之后，工程師再次開啟壓緊機構，將測試樣品從測試基座內卸載，再放開壓緊機構。當測試基座四周的壓緊機構數目較多時，測試樣品的裝載或者卸載必須要兩人協作來完成，一人雙手摁壓開啟壓緊機構，另一人用吸筆裝載或者卸載測試樣品。

現有技術中，測試樣品的裝載和卸載顯得比較麻煩。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種測試樣品裝卸輔助裝置，以優化裝卸過程、減少不必要的人力支出。

為實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：一種測試樣品裝卸輔助裝置，用于測試板，所述的測試板包括測試基座、用于將測試樣品鎖定在測試基座上的壓緊機構，其特征在于，該輔助裝置包括：導軌，滑動設置在所述導軌上的滑軌，滑動設置在所述的滑軌上的固定架；連接在固定架上的伸縮部件、連接在伸縮部件上的用于開啟壓緊機構的定位針，所述定位針的數目與一個測試基座所對應的壓緊機構的數目相等。

優選的：每個測試基座對應于至少兩個壓緊機構。

所述的導軌為平行設置的兩根，所述滑軌的兩端部均設置有滑塊，滑塊滑動設置在導軌上。

所述固定架上連接有滑塊，滑塊滑動設置在滑軌上。

所述固定架上連接有氣缸，所述伸縮部件為氣缸的活塞桿。所述氣缸與控制機構連接，所述控制機構與用于控制活塞桿伸縮的開關連接。所述控制機構可以為氣閥。

所述伸縮部件上連接有連接支架，連接支架上能夠拆卸的連接有修正支架，定位針固定在修正支架上。

由于上述技術方案的采用，使得測試樣品的裝載和卸載十分方便靈活快捷，一位工程師便能獨立完成，可以提高企業的生產效率。

附圖說明

通過附圖中所示的本實用新型的優選實施例的更具體說明，本實用新型的上述及其它目的、特征和優勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標記指示相同的部分。并未刻意按實際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。

圖1為本實用新型輔助裝置的俯視圖；

圖2為輔助裝置除去導軌、滑軌后的側視圖，此時輔助裝置處于自然狀態；

圖3為輔助裝置除去導軌、滑軌后的側視圖，此時輔助裝置處于觸發狀態。

具體實施方式

參見圖1所示的測試樣品裝卸輔助裝置的俯視圖，該輔助裝置首先包括：

設置在測試板1的側部的導軌2、滑動設置在所述導軌2上的滑軌3、滑動設置在所述滑軌3上的固定架41。其中所述導軌2為平行設置的兩根且沿著Y方向延伸，所述滑軌3的兩端部均設置有滑塊30，兩個滑塊30分別滑動設置在導軌2上。所述滑軌3沿著X方向延伸，滑軌3上滑動設置有滑塊40，固定架41連接在滑塊40上。工程師通過沿著導軌2撥動滑軌3，可以使得固定架41沿著Y方向滑動，通過沿著滑軌3撥動固定架41，可以使得固定架41沿著X方向滑動，通過X方向與Y方向的組合，實現固定架41在測試板1的不同位置的定位。

結合圖2、圖3，該輔助裝置還進一步包括：連接在固定架41上的具有活塞桿44的氣缸42、連接在所述活塞桿44上的連接支架45、連接在所述連接支架45上的修正支架46、設置在所述修正支架46上的定位針47，還包括設置在連接支架45上的用于控制活塞桿44伸出與縮回的開關43。

所述開關43包括彈簧，當開關43處于未被觸發的自然狀態時，彈簧使得開關43處于斷開狀態，當開關43被觸發時，開關43處于閉合狀態。