[實用新型]測試樣品裝卸輔助裝置有效
| 申請號： | 201020033228.8 | 申請日： | 2010-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN201611371U | 公開（公告）日： | 2010-10-20 |
| 發明（設計）人： | 李剛;劉云海;鄭鵬飛 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測試 樣品 裝卸 輔助 裝置 | ||
1.一種測試樣品裝卸輔助裝置，用于測試板，所述的測試板包括測試基座、用于將測試樣品鎖定在測試基座上的壓緊機構，其特征在于，該輔助裝置包括：
導軌，滑動設置在所述導軌上的滑軌，滑動設置在所述的滑軌上的固定架；
連接在固定架上的伸縮部件、連接在伸縮部件上的用于開啟壓緊機構的定位針，所述定位針的數目與一個測試基座所對應的壓緊機構的數目相等。
2.根據權利要求1所述的測試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于：每個測試基座對應于至少兩個壓緊機構。
3.根據權利要求1所述的測試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于：所述的導軌為平行設置的兩根，所述滑軌的兩端部均設置有滑塊，滑塊滑動設置在導軌上。
4.根據權利要求1所述的測試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于：所述固定架上連接有滑塊，滑塊滑動設置在滑軌上。
5.根據權利要求1所述的測試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于：所述固定架上連接有氣缸，所述伸縮部件為氣缸的活塞桿。
6.根據權利要求5所述的測試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于：所述氣缸與控制機構連接，所述控制機構與用于控制活塞桿伸縮的開關連接。
7.根據權利要求6所述的測試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于：所述控制機構為氣閥。
8.根據權利要求1所述的測試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于：所述伸縮部件上連接有連接支架，連接支架上能夠拆卸的連接有修正支架，定位針固定在修正支架上。
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