[實用新型]尾氣處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020032845.6
• 申請日: 2010-01-08
• 公開（公告）號: CN201632175U
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發(fā)明（設計）人: 李景倫
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;B01D53/18;B01D5/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 李麗

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別涉及用于處理工藝尾氣的尾氣處理裝置。

背景技術

在半導體器件制造過程中，需要用到各種氣體參與化學反應。由于通入反應腔的氣體不可能被完全消耗掉，經(jīng)常還殘留有尾氣，因此必須通過尾氣處理裝置對尾氣進行處理，以避免污染環(huán)境或產(chǎn)生其他危害。

常用的尾氣處理方法包括干式和濕式兩種。干式方法一般是利用吸附式觸媒反應將尾氣中的污染物破壞去除。例如申請?zhí)枮?3147878.6的中國專利申請中提及了一種用于干式尾氣處理的潔凈劑，該潔凈劑可化學吸附氫化物氣體。而濕式方法則通過加藥水洗滌的方式對尾氣中的污染物進行清洗。例如申請?zhí)枮?00710005518.4的中國專利申請中提及了一種廢水回收系統(tǒng)及方法，其通過過濾、氧化、離子交換等多步工藝對濕式尾氣處理后的廢水進行回收處理。

目前，在濕式尾氣處理過程中發(fā)現(xiàn)，尾氣處理裝置的管路中常殘留有污染物顆粒。特別對于低k值介電層成膜反應后的尾氣處理，因尾氣含碳量高使得管路中常殘留有污染物顆粒，從而導致管路堵塞。并且，現(xiàn)有濕式尾氣處理的效率也有待進一步提高。

實用新型內(nèi)容

本實用新型解決的是現(xiàn)有技術濕式尾氣處理中，尾氣處理裝置的管路中常殘留有污染物顆粒的問題。

本實用新型還解決現(xiàn)有技術濕式尾氣處理的效率有待進一步提高的問題。

為解決上述問題，本實用新型提供一種尾氣處理裝置，包括：位于尾氣進氣口的豎直尾氣處理管路以及和所述尾氣處理管路連通的水槽，其中尾氣處理管路沿尾氣流通方向依次包括：

加熱管道；

由紫外燈構成的紫外照射區(qū)；

冷凝腔，所述冷凝腔具有豎直貫通孔，所述冷凝腔的外壁連接有進水管路，內(nèi)壁具有多個噴淋口，用于對所述豎直貫通孔中流通的尾氣進行噴淋；以及過濾片。

與現(xiàn)有技術相比，上述尾氣處理裝置具有以下優(yōu)點：經(jīng)加熱和紫外照射后，尾氣中的大部分懸浮顆粒的內(nèi)部結構將發(fā)生改變，變得更容易凝結。此后，經(jīng)過所述環(huán)繞噴淋后，尾氣中的大部分懸浮顆粒將凝結成大顆粒固體掉落于過濾片上。從而，尾氣在進入水槽清洗之前，已經(jīng)過預先處理。相應地，尾氣進入水槽后進行清洗的效率將提高。則整體尾氣處理的效率也得到了提高。

此外，所述冷凝腔的多個噴淋口對流通于貫通孔中的尾氣的噴淋可以使得尾氣中的懸浮顆粒更多地凝結，也相應改善懸浮顆粒殘留并堵塞管路的情況。

附圖說明

圖1是本實用新型尾氣處理裝置的第一種實施例示意圖；

圖2是圖1中加熱管道沿A-A線的剖面示意圖；

圖3a是圖1中冷凝腔的一種實施例示意圖；

圖3b是圖3a所示冷凝腔的分解示意圖；

圖4a是圖1中冷凝腔的另一種實施例示意圖；

圖4b是圖4a所示冷凝腔的分解示意圖；

圖5是圖3a或圖4a所示冷凝腔的進水口與噴淋口間的水流路徑示意圖；

圖6是本實用新型尾氣處理裝置的第二種實施例示意圖。

具體實施方式

參照圖1所示，本實用新型尾氣處理裝置的第一種實施例包括：位于尾氣進氣口的豎直尾氣處理管路以及和所述尾氣處理管路連通的水槽50，其中尾氣處理管路包括：

位于尾氣進氣口的加熱管道10；

加熱管道10出口處由紫外燈21、22構成的紫外照射區(qū)；

紫外照射區(qū)下的冷凝腔30，所述冷凝腔30具有豎直貫通孔301，所述冷凝腔的外壁連接有進水管路31，內(nèi)壁具有多個噴淋口，用于對所述豎直貫通孔301中流通的尾氣進行噴淋；

以及，冷凝腔30下的過濾片40，

所述水槽50還包括加熱管道51，其還連通出氣管路60。

圖2是圖1中加熱管道沿A-A線的剖面示意圖。參照圖2所示，所述加熱管道10由包裹加熱層12的尾氣傳輸管道11構成，通過加熱層12的升溫對該段加熱管道加熱。由于尾氣處理裝置一般和反應腔相連，為避免尾氣由于溫度過高而返回反應腔中，影響后續(xù)反應腔工藝的質(zhì)量，所述加熱管道10的加熱溫度不宜過高，一般加熱溫度不超過250℃。

繼續(xù)參照圖1所示，所述紫外照射區(qū)中的紫外燈21、22相對設置，使得經(jīng)過該區(qū)域的尾氣可以被紫外等充分照射。

所述冷凝腔30的外壁一般與尾氣傳輸管道11貼合，以使得尾氣基本經(jīng)由豎直貫通孔301流通，以獲得更好的冷凝效果。

以下對上述尾氣處理裝置的尾氣處理過程進一步說明。