[實用新型]尾氣處理裝置有效
| 申請號： | 201020032845.6 | 申請日： | 2010-01-08 |
| 公開（公告）號： | CN201632175U | 公開（公告）日： | 2010-11-17 |
| 發明（設計）人： | 李景倫 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B01D50/00 | 分類號： | B01D50/00;B01D53/18;B01D5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李麗 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 尾氣 處理 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種尾氣處理裝置，包括：位于尾氣進氣口的豎直尾氣處理管路以及和所述尾氣處理管路連通的水槽，其特征在于，所述尾氣處理管路沿尾氣流通方向依次包括：
加熱管道；
由紫外燈構成的紫外照射區；
冷凝腔，所述冷凝腔具有豎直貫通孔，所述冷凝腔的外壁連接有進水管路，內壁具有多個噴淋口，用于對所述豎直貫通孔中流通的尾氣進行噴淋；
以及過濾片。
2.如權利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述加熱管道包括尾氣傳輸管道和包裹尾氣傳輸管道的加熱層。
3.如權利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述紫外照射區包括兩個相對設置的紫外燈。
4.如權利要求2所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述冷凝腔的外壁貼合于尾氣傳輸管道。
5.如權利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述進水管路連接于所述冷凝腔的外壁上的進水口，所述噴淋口的孔徑小于所述進水口的孔徑。
6.如權利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，所述冷凝腔的上下表面也具有多個噴淋口。
7.如權利要求1所述的尾氣處理裝置，其特征在于，還包括：連接水槽的出水管路以及連接進水管路和出水管路的水泵。
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