[實(shí)用新型]一種三氯氫硅合成爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020013212.0
• 申請(qǐng)日: 2010-01-04
• 公開（公告）號(hào): CN201648006U
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李法曾;楊秀玲;苗乃芬;李法山;王建民
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東新龍硅業(yè)科技有限公司
• 主分類號(hào): C01B33/107
• 分類號(hào): C01B33/107
• 代理公司: 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205
• 代理人: 李江

1.一種三氯氫硅合成爐，包括爐體，所述爐體包括上封頭(1)、中間殼體和下封頭(17)，所述爐體內(nèi)形成密閉的腔室，在中間殼體上設(shè)有硅粉進(jìn)口(14)、原料氣進(jìn)口(16)和合成氣出口(8)，其特征在于：所述中間殼體內(nèi)設(shè)有若干根導(dǎo)熱油列管(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述導(dǎo)熱油列管(9)由內(nèi)管和外管套裝在一起構(gòu)成，內(nèi)管和外管之間形成導(dǎo)熱油腔，所述內(nèi)管和外管在底部連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述上封頭(1)與中間殼體之間設(shè)有上管板(3)，在中間殼體內(nèi)設(shè)有下管板(5)，所述中間殼體位于上管板(3)與下管板(5)之間的腔室為導(dǎo)熱油室，導(dǎo)熱油室的一側(cè)設(shè)有導(dǎo)熱油出口(4)，在上封頭(1)上設(shè)有導(dǎo)熱油進(jìn)口(2)，所述導(dǎo)熱油列管(9)的內(nèi)管從下管板(5)上伸出與上管板(3)連接并與導(dǎo)熱油進(jìn)口(2)連通，所述導(dǎo)熱油列管(9)的外管與下管板(5)連接使得導(dǎo)熱油腔與導(dǎo)熱油室連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述中間殼體內(nèi)位于原料氣進(jìn)口(16)的上方的位置安裝有分布板(15)，所述硅粉進(jìn)口(14)設(shè)置在分布板(15)的上方位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氫硅合成爐，其特征在于：在中間殼體上安裝有若干個(gè)測(cè)壓口(7)和測(cè)溫口(6)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述中間殼體包括從下到上依次連接的直管段(12)、過渡段(11)和擴(kuò)大段(10)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述直管段(12)的內(nèi)徑為1800mm、所述擴(kuò)大段(10)的內(nèi)徑為3800mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述擴(kuò)大段(10)的高度為2500mm，過渡段(11)的高度為2000mm。