[發明專利]用于氣相淀積系統的具有可移除的輥子的傳送器組件

有效

• 申請號: 201010624656.2
• 申請日: 2010-12-30
• 公開（公告）號: CN102115875A
• 公開（公告）日: 2011-07-06
• 發明（設計）人: E·J·利特爾;C·拉思維格
• 申請（專利權）人: 初星太陽能公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54;B65G13/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 嚴志軍;譚祐祥

1.一種用于將襯底(14)傳送通過氣相淀積系統(10)的傳送器組件(100)，所述傳送器組件包括：

設置在所述傳送器組件的驅動側處的第一托架導軌(104)，以及設置在所述傳送器組件的相對側處的第二托架導軌(106)；

所述第一托架導軌和所述第二托架導軌包括沿著所述第一托架導軌和所述第二托架導軌沿縱向隔開的多個輥子位置(108)；

所述第一托架導軌和所述第二托架導軌在所述輥子位置中的各個輥子位置處還包括一對輪(114，116)，所述輪間隔開，以便在所述相應的輥子位置處限定承座；

在所述第一托架導軌上的多個所述輥子位置是驅動位置，其中，在所述輥子位置處的所述輪(114)中的至少一個是從動輪；以及，

在所述第一托架導軌和所述第二托架導軌之間延伸的多個輥子(120)，所述輥子具有在所述輥子位置處落入所述承座中的端部，使得可通過在所述輥子位置處從所述承座上提出所述輥子來從所述第一托架導軌和所述第二托架導軌上移除所述輥子。

2.根據權利要求1所述的傳送器組件(100)，其特征在于，所述輥子位置(108)由端部開口的凹部(110)限定，所述凹部(110)限定在所述第一托架導軌(104)和所述第二托架導軌(106)中，所述一對輪(114，116)在所述凹部的底部處限定所述承座，使得所述輥子(120)不接觸所述凹部的壁。

3.根據權利要求2所述的傳送器組件(100)，其特征在于，沿著所述第一托架導軌(104)的所述從動輪(114)由共同的傳動帶(126)旋轉地驅動，所述從動輪進一步包括抓取性增強的外周表面(118)，以提高所述傳動帶的牽引力。

4.根據權利要求1至3中任一項權利要求所述的傳送器組件(100)，其特征在于，所述傳送器組件(100)進一步包括沿著所述第一托架導軌(104)和所述第二托架導軌(106)設置在所述輥子位置(108)中的各個處的軸向接觸部件(132)，所述接觸部件構造成和設置成以便與所述輥子(120)的軸向端面(136)接觸，以防止所述輥子相對于所述第一托架導軌和所述第二托架導軌的軸向運動。

5.一種用于將襯底(14)傳送通過氣相淀積系統(10)的氣相淀積模塊(138)，在氣相淀積系統(10)中，源材料轉變成蒸氣，并且淀積在所述襯底的表面上，所述模塊包括：

殼體(140)；

傳送器組件(100)，其可操作地構造在所述殼體內，以將襯底(14)傳送通過所述殼體，所述傳送器組件包括：

設置在所述傳送器組件的驅動側處的第一托架導軌(104)，以及設置在所述傳送器組件的相對側處的第二托架導軌(106)；

所述第一托架導軌和所述第二托架導軌包括沿著所述第一托架導軌和所述第二托架導軌沿縱向隔開的多個輥子位置(108)；

所述第一托架導軌和所述第二托架導軌在所述輥子位置中的各個輥子位置處還包括一對輪(114，116)，所述輪間隔開，以便在所述相應的輥子位置處限定承座；

沿著所述第一托架導軌的多個所述輥子位置是驅動位置，其中，所述輪(114)中的至少一個是從動輪；以及，

在所述第一托架導軌和所述第二托架導軌之間延伸的多個輥子(120)，所述輥子具有在所述輥子位置處落入所述承座中的端部，使得可通過在所述輥子位置處從所述承座上提出所述輥子來從所述第一托架導軌和所述第二托架導軌上移除所述輥子。

6.根據權利要求5所述的模塊(138)，其特征在于，所述輥子位置(108)由端部開口的凹部(110)限定，所述凹部(110)限定在所述第一托架導軌(104)和所述第二托架導軌(106)中，所述輪(114，116)在所述凹部的底部處限定所述承座，使得所述輥子(120)不接觸所述凹部的壁。

7.根據權利要求6所述的模塊(138)，其特征在于，沿著所述第一托架導軌(104)的所述從動輪(114)由在環狀的循環路徑中延伸的共同的傳動帶(126)旋轉地驅動，所述從動輪進一步包括抓取性增強的外周表面(118)，以提高所述傳動帶的牽引力。

8.根據權利要求7所述的模塊(138)，其特征在于，所述模塊(138)進一步包括構造在所述殼體(140)上以驅動所述傳動帶(126)的驅動單元(102)。