[發明專利]一種引束時更換菜單的方法

無效

• 申請號: 201010622169.2
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN102569014A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 周文龍;黃永章;鄧穎輝;孫勇;林萍
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及離子注入機引束時更換菜單的控制方法。特別涉及半導體制造離子注入工藝中所用的離子注入機，屬于半導體器件制造領域

背景技術

半導體集成電路制造工藝已發展到12英寸晶片、納米技術節點時期。隨著晶圓片尺寸越來越大，單元器件尺寸越來越小，對半導體工藝設備的性能要求也就越來越高。離子注入機是半導體集成電路器件制造工藝中必不可少的關鍵設備。為了提高離子注入機的性能，使其滿足現代大晶圓片、納米器件生產工藝的要求和適應將來半導體工藝技術的發展，必須要開發高效的全自動控制系統。

在生產芯片時，不可避免的要制作不同離子，不同要求工藝的芯片。這時，需要對引出束流進行菜單切換。為了能夠更快，污染最小的完成此項功能，必須對更換菜單的流程算法進行統籌。

一般的更換菜單的方法，不會對更換后菜單作出任何判斷，只是單純的將前次所引束流停掉，重新引更換后的菜單。這樣造成了時間的浪費，并且不能保證無污染的進行。結果導致生產效率不高，甚至造成芯片的污染。

本發明的一種引束時更換菜單的方法，提出一種全新的更換菜單的方法，應用此方法可減少更換菜單時的引出目標束流的時間消耗，并且能夠減少更換氣體帶來的污染，在實際生產中可以提高生產效率，很有意義。

發明內容

本發明一種引束時更換菜單的方法，主要是為了更快、更高效的完成菜單切換的功能而提出的一種方法。

本發明通過以下技術方案來實現：

一種引束時更換菜單的方法，具體步驟如下：

1.當接收到了更換菜單的命令后(1)，則判斷當前菜單名稱，與更換后的菜單名稱是否一致(2)。

2.如果當前菜單名稱與更換后的菜單名稱一致(3)：

1)首先比較當前不可調電源設定值與更換菜單值是否做過更改(5)，如果做過更改(7)，則將菜單值設置給各個電源(19)，然后進行起弧引束(20)，然后進行束流均勻性檢測(8)。

2)比較當前不可調電源設定值與菜單值是否做過更改(5)，如果未做過更改(6)，則直接進行束流均勻性檢測(8).

3)做完束流均勻性檢測(8)后，判斷均勻性是否符合標準(9)。

a)如果符合標準(10)，則引束完成退出(11)。

b)如果不符合標準(12)，則判斷是否調節過可變電源(13)，如果調節過(14)，則引束不成功，報錯退出(15)；如果未調節過(16)，則調節可調電源(17)，然后再做均勻性檢測(8)。

3.如果當前菜單名稱與更換后的菜單名稱不一致(4)：

1)進行更換菜單引束前處理(18)。

a)接收到更換菜單引束前處理命令(21)后，首先將引出電流設置到

0.5A(22)。這樣可以杜絕再操作其他電源時發生電源打火的現象。

b)判斷當前引出的氣體是否與更換菜單氣體一致(23)。如果一致(27)則直接進行能量模式的判斷(28)。如果不一致(24)，則需要停掉當前所引的氣體，并等待30秒(25)，這樣可以將管道和離子源中的剩余氣體充分清除掉。選擇更換菜單中的氣體(26)。待選擇后進行能量模式的判斷(28)。

c)判斷當前所應用的能量模式是否與更換菜單時的能量模式一致(28)。如果一致(29)，則預備工作完成，退出(30)。如果不一致(31)，則首先關掉加速，減速電源(32)，然后將能量模式更改為菜單中的模式(33)，然后完成，退出(30)。

2)將菜單值設置給各個電源(19)，然后進行起弧引束(20)，然后進行束流均勻性檢測(8)。

3)做完束流均勻性檢測(8)后，判斷均勻性是否符合標準(9)。

a)如果符合標準(10)，則引束完成退出(11)。

b)如果不符合標準(12)，則判斷是否調節過可變電源(13)，如果調節過(14)，則引束不成功，報錯退出(15)；如果未調節過(16)，則調節可調電源(17)，然后再做均勻性檢測(8)。

本發明具有如下顯著優點：

1.減少了菜單更換所需要的時間。

2.減少了菜單更換對產品造成的污染。

附圖說明

圖1為菜單更換流程說明圖。

圖2為更換菜單引束預處理說明圖。

本發明的特定實施例已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。