[發(fā)明專利]一種引束時更換菜單的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010622169.2
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN102569014A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周文龍;黃永章;鄧穎輝;孫勇;林萍
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種引束時更換菜單的方法，其特征在于：該方法分成了兩個部分進行處理，即當(dāng)前菜單與更換菜單一致(3)和當(dāng)前菜單與更換菜單不一致(4)，判斷的依據(jù)是菜單名稱是否一致(2)。此處所做的判斷為后續(xù)的細節(jié)處理提供了一個基礎(chǔ)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種引束時更換菜單的方法，其特征在于：當(dāng)前菜單與更換菜單一致(3)時，需要判斷各個不可調(diào)電源的設(shè)定值與更換菜單中的值是否有更改(5)，根據(jù)結(jié)果再進行不同處理。

3.如權(quán)利要求1所述的一種引束時更換菜單的方法，其特征在于：當(dāng)前菜單與更換菜單不一致(4)時，需要做更換菜單引束前處理(18)。

4.如權(quán)利要求1所述的一種引束時更換菜單的方法，其特征在于：做更換菜單引束前處理的第一步，是將引出電流值降低到一個比較小的值(22)。這樣可以避免電源出現(xiàn)打火現(xiàn)象。

5.如權(quán)利要求1所述的一種引束時更換菜單的方法，其特征在于：需要判斷當(dāng)前所引出的氣體與更換菜單氣體是否一致(23)。需要根據(jù)判斷結(jié)果作出不同的處理。

6.如權(quán)利要求1所述的一種引束時更換菜單的方法，其特征在于：當(dāng)發(fā)現(xiàn)所引出的氣體與更換菜單氣體不一致時(24)，需要停掉當(dāng)前所引出的氣體，并等待至少30秒(25)，以此來保證離子源中氣體的純凈度。

7.如權(quán)利要求1所述的一種引束時更換菜單的方法，其特征在于：當(dāng)發(fā)現(xiàn)均勻性檢測不符合標(biāo)準(zhǔn)時(12)，會再次判斷各項可調(diào)電源是否調(diào)節(jié)過(13)，然后根據(jù)結(jié)果進行不同處理。