[發明專利]一種離子注入束線法拉第

無效

• 申請號: 201010621903.3
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN102569117A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 曹遠翔;唐景庭;劉世勇;胡寶富;林萍;李慧
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01J37/317
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明是一種離子注入束線法拉第，特別涉及半導體制造離子注入工藝中所用的離子注入機，屬于半導體器件制造領域。

背景技術

離子注入機是現代半導體集成電路制造中必不可少的工藝設備。現今的半導體集成電路制造工藝對離子注入機的要求越來越高。不僅對整機可靠性、束流純凈度、束流均勻性、注入角度等提出了更高的要求，而且對注入機的離子能量范圍、束斑形狀、離子束傳輸效率等也提出了很高的要求，并對其工藝和設備的要求越來越高。特別是對注入機光路系統的要求更加嚴格。

本發明是一種檢測束流的裝置，杯測束底板可進行90度旋轉調節，可根據需求調節旋轉使束流通過。杯測束底板4上的燃燒傳感器5可檢測到束流。

發明內容

本發明專利一種離子注入束線法拉第，是一個束流的檢測裝置，可檢測束流是否到達束線法拉第以及測量出所引出的束流大小。

本發明通過以下技術方式實現：

一種離子注入束線法拉第，主要包括：安裝法蘭(1)、絕緣安裝板(2)、燃燒傳感器(3)、杯測束底板(4)、拆裝導桿孔(5)、杯框(6)、旋轉軸(7)、氣缸(8)。

所述的旋轉軸(7)通過與氣缸連接完成旋轉動作。

所述的拆裝導桿孔(5)處在安裝法蘭1上，主要作用是方便裝置的拆裝有保護裝置在拆裝過程中的不至損壞。

所述的絕緣安裝板(2)安裝在安裝法蘭(1)內側與杯框相連，處于杯框(6)和安裝法蘭(1)之間，主要起絕緣作用且有一定的密封效果。

所述的杯測束底板(4)安裝在杯框(6)的左側。

所述的燃燒傳感器(3)在杯測束底板(4)中心位置杯框(6)內，主要作用是用于檢測杯測束底板(4)束流。

本發明具有如下顯著優點：

安裝結構穩定，工作可靠，重復性高，檢測能力強。

附圖說明

附圖1是本發明的一種實施方式的示意圖。

具體實施方式：

下面結合附圖的具體實施例對本發明作進一步介紹，應該理解，這些描述都是說明性的，本發明不限于此。本發明的范圍僅由所附權利要求的范圍所限定。

參考圖1，一種離子注入束線法拉第，包括：安裝法蘭(1)、絕緣安裝板(2)、燃燒傳感器(3)、杯測束底板(4)、拆裝導桿孔(5)、杯框(6)、旋轉軸(7)、氣缸(8)。所述的旋轉軸(7)通過與氣缸(8)連接完成旋轉動作，拆裝導桿孔(5)處在安裝法蘭(1)上；所述的拆裝導桿孔(5)主要作用是方便裝置的拆裝有保護裝置在拆裝過程中的不至損壞，絕緣安裝版(2)安裝在安裝法蘭(1)內側與杯框相連；所述絕緣安裝板(2)處于杯框(6)和安裝法蘭(1)之間，主要起絕緣作用且有一定的密封效果；所述的杯測束底板(4)安裝在杯框(6)的左側，其中心位置杯框(6)內安裝燃燒傳感器(3)；所述的燃燒傳感器(3)用于檢測杯測束底板(4)束流。

束線法拉第設計為旋轉90度切換結構，杯體由杯框(6)和杯測束底板(4)組成，采用高純石墨，底部設計杯底穿孔檢測傳感器(3)。旋轉軸(7)采用抽真空密封，杯測束底板(4)的旋轉動作由氣缸(8)驅動，雙向設計到位行程開關，測束底板(4)轉動，杯框(6)保持不動。整體與真空腔絕緣，用于束流檢測。下部設計用于便于維護拆裝的導桿孔(5)，安裝滑動滾珠套。測束底板(6)采用水冷，對外水冷接頭和壓縮空氣接頭采用自密封快插接頭，密封用真空接頭采用雙卡套。

本發明的特定實施例已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。