[發明專利]一種離子注入束線法拉第

無效

• 申請號: 201010621903.3
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN102569117A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 曹遠翔;唐景庭;劉世勇;胡寶富;林萍;李慧
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01J37/317
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離子注入束線法拉第，其特征在于：安裝法蘭(1)、絕緣安裝板(2)、燃燒傳感器(3)、杯測束底板(4)、拆裝導桿孔(5)、杯框(6)、旋轉軸(7)、氣缸(8)。

2.如權利要求1所述的一種離子注入束線法拉第，其特征在于：旋轉軸(7)連接杯測束底板(4)，其旋轉動作由氣缸(8)帶動完成。

3.如權利要求1所述的一種離子注入束線法拉第，其特征在于：拆裝導桿孔(5)處在安裝法蘭(1)上，所述的拆裝導桿孔(5)主要作用是方便裝置的拆裝有保護裝置在拆裝過程中的不至損壞。

4.如權利要求1所述的一種離子注入束線法拉第，其特征在于：杯測束底板(4)安裝中心位置杯框(6)內安裝燃燒傳感器(3)，主要作用是用于檢測杯測束底板(4)束流。