[發明專利]一種防著板加工方法有效
| 申請號: | 201010617133.5 | 申請日: | 2010-12-30 |
| 公開(公告)號: | CN102107347A | 公開(公告)日: | 2011-06-29 |
| 發明(設計)人: | 姚力軍;潘杰;王學澤;范文新 | 申請(專利權)人: | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號: | B23P15/00 | 分類號: | B23P15/00;C23C14/34 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 駱蘇華 |
| 地址: | 315400 浙江省寧波市余姚*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 防著 加工 方法 | ||
1.一種防著板加工方法,包括:提供防著板毛坯;
對防著板毛坯進行切削加工;
其特征在于:還提供壓力機及輔助盤,在切削加工過程中,每結束一道切削工序后,均使4000噸壓力機通過輔助盤對防著板被加工部位施加10~20兆帕的壓強,施加壓強保持的時間為1~2分鐘。
2.根據權利要求1所述的防著板加工方法,其特征在于:所述防著板用于LCD濺鍍加工時靶材所處腔體。
3.根據權利要求1所述的防著板加工方法,其特征在于:所述防著板的材料為鋁或者鋁合金。
4.根據權利要求1所述的防著板加工方法,其特征在于:所述切削加工依次包括粗銑平面、精銑外形、精銑平面及平面凹凸結構加工環節。
5.根據權利要求1所述的防著板加工方法,其特征在于:所述輔助盤為輔助圓盤。
6.根據權利要求1所述的防著板加工方法,其特征在于:在提供防著板毛坯后、對防著板毛坯進行切削加工之前,還包括對防著板毛坯進行油壓校正。
7.根據權利要求6所述的防著板加工方法,其特征在于:所述油壓校正為4000噸油壓校正。
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