[發明專利]一種光刻機臺的控制裝置及方法

無效

• 申請號: 201010614732.1
• 申請日: 2010-12-21
• 公開（公告）號: CN102540966A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 詹祥宇;李勁
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: G05B19/18
• 分類號: G05B19/18;G03F7/20
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種光刻機臺的控制裝置，其特征在于，包括：

光刻機臺控制模塊，用于根據需要進行光刻操作的產品的描述信息，查找與所述產品的描述信息對應的光刻機臺控制信息；根據查找到的光刻機臺控制信息，確定各光刻工步應使用的光刻機臺；

制造執行模塊，用于根據所述光刻機臺控制模塊確定的光刻機臺對所述產品進行光刻工藝操作。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括：

用戶界面交互模塊，用于接收用戶在用戶界面上輸入的選取操作指令；記錄用戶選擇的產品描述信息；以及用戶界面上與所述產品描述信息對應的全局綁定標識的選取信息、各光刻工步標識的選取信息和與各光刻工步標識對應的光刻機臺標識的選取信息；將所述產品描述信息、與所述產品描述信息對應的全局綁定標識的選取信息、各光刻工步標識的選取信息和與各光刻工步標識對應的光刻機臺標識的選取信息生成光刻機臺控制信息；

數據庫模塊，用于將所述產品的描述信息與所述光刻機臺控制信息對應存儲。

3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述光刻機臺控制模塊，進一步包括：

判斷子模塊，用于判斷所述光刻機臺控制信息中的全局綁定標識的選取信息是否為已選取；并在已選取時，判斷所述光刻機臺控制信息的各光刻工步標識選取信息中指定的用于執行第一步光刻工步的光刻機臺是否為可用狀態；在未選取時，判斷所述光刻機臺的控制信息中各光刻工步標識對應的光刻機臺是否均為可用狀態；

第一確定子模塊，用于當判斷為已選取且所述光刻機臺控制信息的各光刻工步標識選取信息中指定的用于執行第一步光刻工步的光刻機臺為可用狀態時，確定所述用于執行第一步光刻工步的光刻機臺作為各光刻工步均應使用的光刻機臺；當判斷為已選取且所述光刻機臺控制信息的各光刻工步標識選取信息中指定的用于執行第一步光刻工步的光刻機臺為不可用狀態時，將各光刻工步對應的默認的光刻機臺確定為所述光刻工步應使用的光刻機臺；

第二確定子模塊，用于當判斷為未選取、且判斷所述光刻機臺的控制信息中各光刻工步標識對應的光刻機臺均為可用狀態時，確定所述光刻機臺的控制信息各光刻工步標識對應的光刻機臺為各光刻工步應使用的光刻機臺；當判斷為未選取、且判斷所述光刻機臺的控制信息中各光刻工步標識對應的光刻機臺不都為可用狀態時，將各光刻工步對應的默認的光刻機臺確定為所述光刻工步應使用的光刻機臺。

4.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述光刻機臺控制模塊，進一步用于當所述光刻機臺控制信息中與各光刻工步標識對應的光刻機臺標識的選取信息均為未選取時，將各光刻工步對應的默認的光刻機臺作為各光刻工步應使用的光刻機臺。

5.如權利要求1-4任一所述的裝置，其特征在于，所述用戶界面交互模塊、光刻機臺控制模塊和數據庫模塊，使用Java?EJB結構實現。

6.一種光刻機臺的控制方法，其特征在于，包括：

根據需要進行光刻操作的產品的描述信息，查找與所述產品的描述信息對應的光刻機臺控制信息；

根據查找到的光刻機臺控制信息，確定各光刻工步應使用的光刻機臺，并使用確定出的光刻機臺對所述產品進行光刻工藝操作。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述光刻機臺控制信息通過下述方式生成：

接收用戶在用戶界面上輸入的選取操作指令；

記錄用戶選擇的產品描述信息；以及用戶界面上與所述產品描述信息對應的全局綁定標識的選取信息、各光刻工步標識的選取信息和與各光刻工步標識對應的光刻機臺標識的選取信息；

將所述產品描述信息、與所述產品描述信息對應的全局綁定標識的選取信息、各光刻工步標識的選取信息和與各光刻工步標識對應的光刻機臺標識的選取信息生成光刻機臺控制信息。

8.如權利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述產品描述信息為產品編號或產品批次。