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[發明專利]放射線敏感性組合物、固化膜及其形成方法有效

專利信息
申請號: 201010614014.4 申請日: 2010-12-17
公開(公告)號: CN102147570A 公開(公告)日: 2011-08-10
發明(設計)人: 鈴木康伸;上田二朗 申請(專利權)人: JSR株式會社
主分類號: G03F7/075 分類號: G03F7/075;G03F7/00
代理公司: 北京三幸商標專利事務所 11216 代理人: 劉激揚
地址: 日本國*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 放射線 敏感性 組合 固化 及其 形成 方法
【權利要求書】:

1.一種正型放射線敏感性組合物,其含有:

[A]硅氧烷聚合物、

[B]金屬氧化物顆粒、和

[C]放射線敏感性酸產生劑或放射線敏感性堿產生劑,

上述[B]金屬氧化物顆粒為選自鋁、鋯、鈦、鋅、銦、錫、銻和鈰構成的群組中的至少一種金屬的氧化物顆粒。

2.如權利要求1所述的正型放射線敏感性組合物,其中,[A]硅氧烷聚合物是下式(1)表示的水解性硅烷化合物的水解縮合物,

(R1)n-Si-(OR2)4-n????(1)

在式(1)中,R1各自獨立地為氫或碳原子數為1~20的非水解性有機基團,R2各自獨立地為氫、碳原子數為1~6的烷基、碳原子數為1~6的酰基或碳原子數為6~15的芳基,n為0~3的整數。

3.如權利要求1所述的正型放射線敏感性組合物,其中,進一步含有[D]分散劑。

4.如權利要求3所述的正型放射線敏感性組合物,其中,[D]分散劑為下式(2)、(3)或(4)表示的化合物、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯烷基苯基醚、烷基葡糖苷、聚氧乙烯脂肪酸酯、蔗糖酸脂肪酸酯、脫水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇脂肪酸酯或脂肪酸鏈烷醇酰胺,

在式(2)中,R3各自獨立地是CqH2q+1-CH2O-(CH2CH2O)p-CH2CH2O-,p為8~10,q為12~16,x為1~3的整數,

在式(3)中,對r和s的數字進行選擇,使通過凝膠滲透色譜求出的聚苯乙烯換算數均分子量為10000~40000,

在式(4)中,對t和u的數字進行選擇,使通過凝膠滲透色譜求出的聚苯乙烯換算數均分子量為1000~30000。

5.如權利要求1~4任一項所述的放射線敏感性組合物,其用于形成固化膜。

6.一種固化膜的形成方法,其包括:

(1)在基板上形成權利要求5所述放射線敏感性組合物涂膜的工序、

(2)在工序(1)中形成的涂膜的至少一部分中照射放射線的工序、

(3)使在工序(2)中照射了放射線的涂膜顯影的工序、和

(4)加熱在工序(3)中顯影的涂膜的工序。

7.一種固化膜,其由權利要求5所述的放射線敏感性組合物形成。

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