[發(fā)明專利]有機(jī)EL顯示器基板的點(diǎn)燈檢查設(shè)備及其方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010611724.1
• 申請(qǐng)日: 2010-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN102169094A
• 公開（公告）日: 2011-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 片岡文雄;松浦宏育;吉武康裕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立高新技術(shù)
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G01B11/00;H01L27/32;H01L51/56
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;郭鳳麟

1.一種有機(jī)EL顯示器基板的點(diǎn)燈檢查設(shè)備，其特征在于，具有：

點(diǎn)燈單元，向具有使有機(jī)EL元件的各像素點(diǎn)燈的點(diǎn)燈檢查用專用配線以及專用電極極板的主基板的所述專用電極極板供電，使所述各像素點(diǎn)燈；以及

缺陷像素檢測(cè)單元，根據(jù)所述點(diǎn)燈結(jié)果檢測(cè)所述各像素中的未點(diǎn)燈的缺陷像素及其位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL顯示器基板的點(diǎn)燈檢查設(shè)備，其特征在于，

所述專用電極極板設(shè)在所述主基板的至少一邊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL顯示器基板的點(diǎn)燈檢查設(shè)備，其特征在于，

所述主基板具有至少一個(gè)面板，所述點(diǎn)燈單元能夠至少以面板為單位向所述各像素一起供電。

4.一種有機(jī)EL顯示器基板的缺陷檢查修正裝置，其特征在于，具有：

權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL顯示器基板的點(diǎn)燈檢查設(shè)備；以及

缺陷修正設(shè)備，其具備光學(xué)檢查所述缺陷像素的異物的位置的異物位置檢查單元和對(duì)所述檢測(cè)出的異物的位置照射激光，修正所述缺陷像素的缺陷修正單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)EL顯示器基板的缺陷檢查修正裝置，其特征在于，

所述異物位置檢查單元是捕捉缺陷像素的圖像，與正常像素的圖像進(jìn)行比較，來(lái)檢測(cè)像素內(nèi)的缺陷及其位置的單元。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)EL顯示器基板的缺陷檢查修正裝置，其特征在于，具有：

阻擋膜形成設(shè)備，重新形成在修正所述缺陷像素時(shí)一同被去除的阻擋膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)EL顯示器基板的缺陷檢查修正裝置，其特征在于，具有：

判定單元，在修正所述缺陷像素后至少向所述缺陷像素供電，判定像素是否點(diǎn)燈。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)EL顯示器基板的缺陷檢查修正裝置，其特征在于，具有：

低濕度環(huán)境維持單元，將所述點(diǎn)燈檢查設(shè)備、所述缺陷修正設(shè)備控制為低濕度環(huán)境。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)EL顯示器基板的缺陷檢查修正裝置，其特征在于，

所述低濕度環(huán)境維持單元是去除水分的水分去除單元或維持為非活性干燥氣體環(huán)境的單元。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)EL顯示器基板的缺陷檢查修正裝置，其特征在于，

所述缺陷修正設(shè)備將所述主基板安放在低濕度環(huán)境中，使所述激光經(jīng)由透明窗照射所述異物。

11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)EL顯示器基板的缺陷檢查修正裝置，其特征在于，

所述缺陷像素檢測(cè)單元是通過(guò)圖像捕捉向所述像素供電后點(diǎn)燈的狀態(tài)，處理所述圖像來(lái)檢測(cè)所述缺陷像素的單元，

所述點(diǎn)燈檢查設(shè)備具備判定單元，其根據(jù)所述圖像，以所述面板為單位來(lái)檢查線缺陷、不均勻、像素內(nèi)彩色邊紋中的至少一種不良，進(jìn)行良品不良品的判定，

所述缺陷修正設(shè)備選出僅具有所述缺陷像素的不良的所述面板，修正所述缺陷像素。

12.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)EL顯示器基板的缺陷檢查修正裝置，其特征在于，

所述缺陷像素檢測(cè)單元是通過(guò)圖像捕捉所述點(diǎn)燈的狀態(tài)，處理所述圖像檢測(cè)所述缺陷像素的單元，

所述主基板具有至少一個(gè)面板，

所述缺陷修正設(shè)備，在所述面板內(nèi)的所述缺陷像素在規(guī)定的個(gè)數(shù)以內(nèi)時(shí)，修正所述面板的所述缺陷像素。

13.一種有機(jī)EL顯示器基板的點(diǎn)燈檢查方法，其特征在于，具有：

點(diǎn)燈步驟，向具有使有機(jī)EL元件的各像素點(diǎn)燈的點(diǎn)燈檢查用專用配線以及專用電極極板的主基板的所述專用電極極板供電，使所述各像素點(diǎn)燈；以及

缺陷像素檢測(cè)步驟，根據(jù)所述點(diǎn)燈結(jié)果檢測(cè)所述各像素中的未點(diǎn)燈的缺陷像素及其位置。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的有機(jī)EL顯示器基板的點(diǎn)燈檢查方法，其特征在于，

所述主基板具有至少一個(gè)面板，所述點(diǎn)燈步驟能夠至少以面板為單位向所述像素一起供電。