[發明專利]有機EL顯示器基板的點燈檢查設備及其方法

無效

• 申請號: 201010611724.1
• 申請日: 2010-12-21
• 公開（公告）號: CN102169094A
• 公開（公告）日: 2011-08-31
• 發明（設計）人: 片岡文雄;松浦宏育;吉武康裕
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01B11/00;H01L27/32;H01L51/56
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;郭鳳麟

技術領域

本發明涉及以主基板為單位實施有機EL面板的顯示不良的自動檢測和選擇以及暗點(缺陷)的自動修正的有機EL顯示基板的點燈檢查設備以及點燈檢查方法、有機EL顯示基板的缺陷檢查修正裝置以及缺陷檢查修正方法、有機EL顯示面板修正設備以及修正方法、有機EL顯示制造系統以及制造方法。

背景技術

有機EL(顯示器)面板與液晶面板相比顏色范圍廣、亮度高、響應快、視角寬闊，處理這些優秀的顯示性能之外，耗電量低容易實現輕薄化，所以在移動電話、DSC(多功能數碼照相機)、PMP(便攜式多媒體播放器)等2～4英寸級別的小型面板領域快速地普及擴大。另一方面，近年來，筆記本PC、監視器、大型TV等需要大型面板的數字產品的應用展開的機會升高，在顯示器關聯學會和展覽會中，相繼發表了有源大型有機EL面板的樣品，如在Yang?Wan?Kim?et.al.，SID’09Digest，p.85(2009)(非專利文獻1)的報告中所示，已經發表了最大對角40英寸的有機EL面板的樣品。但是，在今后進行量產時有幾個障礙，伴隨著大型化，合格率降低這樣令人擔心情況顯現出來。即，面板面積越大，面板單價越高，另一方面缺陷概率增大，合格率降低，所以造成大的損失。因此，如在Tsujimura?et.al.，IDW’08?Proceedings?p.145(2008)(非專利文獻2)的報告中指出的那樣，為了克服由于缺陷導致的合格率降低，在大型面板中與小型面板不同的高合格率戰略變得重要。作為其解決策略的重要途徑之一，強烈要求檢測并修正缺陷，使不良面板成為合格面板的工業上合理的修正技術。

如圖1所示，有源型有機EL面板的制造工序一般包括：在主基板上形成薄膜TFT的背板工序；形成有機EL薄膜層、上部電極層、下部電極層、阻擋層等的有機EL膜形成工序；為了抑制水分和活性氧造成的壽命降低，用覆蓋玻璃對在上述工序中制成TFT和有機EL元件的主基板進行氣密密封的密封工序；以面板為單位進行切斷的切斷工序；判定面板的合格與否的點燈檢查工序；安裝外置LSI的安裝工序；判定安裝LSI后的面板合格與否的最終點燈檢查工序。在上述工序中，背板工序和有機EL膜形成工序，與TFT工序和半導體的晶圓工序相同，由于異物原因的缺陷引起顯示不良的可能性非常高。特別是在有機EL膜形成工序中，有機EL薄膜層的總膜厚為100nm左右非常薄，當在上部電極與下部電極之間存在超過有機EL薄膜層的厚度的導電性異物時，上下電極發生短路，成為即使通電也不會點燈的缺陷像素(后述圖2)。

作為有機EL顯示器的缺陷像素的修正技術，至此已知專利文獻1、2中記載的技術。

根據專利文獻1記載的技術，在單純陣列驅動的被動型有機EL顯示器中，通過使用激光從與缺陷像素對應的金屬電極去除發生短路等的區域，由此消除金屬電極與透明電極之間的短路，部分去除的金屬電極與透明電極之間的有機發光層變為能夠發光，所以修復缺陷像素。

在專利文獻2中公開了缺陷像素修復方法，在由有機發光層和夾著該有機發光層的上下的電極構成的有機EL顯示裝置中，檢查有機EL膜是否發光，當不發光時從透明電極側檢測異物，通過從透明電極側對包圍該異物的帶狀的區域進行激光照射，帶狀地去除相向的不透明電極薄膜，由此來消除上下電極的短路。

專利文獻1：日本特開2001-118684號公報

專利文獻2：日本特開2005-276600號公報

非專利文獻1：Yang?Wan?Kim?et.al.，SID’09Digest，p.85(2009)

非專利文獻2：Tsujimura?et.al.，IDW’08?Proceedings?p.145(2008)

有源型有機EL顯示器根據發光的取出方向不同分為兩種。一種是穿過成為有機EL像素基部的主基板取出光的的底部發光型，另一種是在有機EL像素的上方取出光的頂部發光型，為了防止導致發光壽命惡化的水分，用吸濕材料以及覆蓋玻璃進行氣密密封。無論在哪種情況下，在主基板一側配置夾著有機發光層的上下的電極薄膜的一方，不對另一方電極薄膜(或者電極薄膜與無機薄膜構成的薄膜層)固體拘束，接觸干燥氣體。因此，在用于修復缺陷像素的激光照射處理中，激光照射部的物質飛散到干燥氣體空間，能夠將薄膜層去除加工成希望的形狀(后述圖3)。在所述專利文獻1、2中，因為是沒有將一方的電極面空間固體拘束的結構，所以能夠通過激光的局部照射消除上下電極的短路原因，能夠修復缺陷像素。