[發明專利]一種三氯氫硅生產尾氣粉塵處理的方法

有效

• 申請號: 201010607449.6
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN102029093A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 郎豐平;邱順恩;黃少輝;黃小明;李明生
• 申請（專利權）人: 江西嘉柏新材料有限公司
• 主分類號: B01D46/04
• 分類號: B01D46/04;B01D46/42
• 代理公司: 北京元中知識產權代理有限責任公司 11223
• 代理人: 王明霞

技術領域

本發明涉及一種生產三氯氫硅的方法及其設備，具體講，涉及一種三氯氫硅生產過程中尾氣粉塵的處理方法及其設備。

背景技術

三氯氫硅是一種用途廣泛的有機硅單體，主要用于生產半導體硅、單晶硅和多晶硅的原料，廣泛用于國防、國民經濟乃至人們日常生活的各個領域，三氯氫硅還是生產硅烷偶聯劑和其他有機硅化合物的重要原料。

由于環境保護的需要，需要對三氯氫硅生產過程中產生的廢氣進行處理，可減少污染，而且對廢氣中的個組分進行回收再利用，不僅使企業降低了生產成本，而且減少了污染物的排放，并將污染物轉化為經濟價值更高的產品，進一步為企業增加了利潤，提高經濟效益。在國家淘汰落后產能的潮流下，對企業廢棄物的排放的要求將愈發嚴格，廢棄物的控制和處理方法上的創新會為企業贏得了先機。

在三氯氫硅生產過程中，其產生的尾氣中經過冷凝處理后，尾氣中仍還有少量的三氯氫硅、四氯化硅、氯化氫和未反應完的硅粉，現有技術中一般將尾氣經過一個袋式過濾器攔截粉塵，然而由于硅粉的粉塵顆粒細小，空隙率較大，粉塵中還會混有一定量的氯化氫氣體，具有強烈的氯化氫氣味，如果將該粉塵如果不進行進一步的處理，會造成大氣的污染，為此，本發明提出了以下技術方案。

發明內容

本發明的首要目的在于提供一種三氯氫硅生產過程中尾氣粉塵的處理方法。

本發明的第二發明目的在于提供這種三氯氫硅生產過程中尾氣粉塵的處理設備。

為實現本發明的發明目的，采用的技術方案為：

本發明涉及一種三氯氫硅生產過程中尾氣粉塵的處理方法，所述的三氯氫硅生產過程中的尾氣和粉塵的混合物經袋式過濾器處理后，所截留的粉塵再通過兩步袋式過濾器處理，所述的處理粉塵的袋式過濾器中，設置有至少一個布袋吹管吹出氮氣，所述布袋吹管由設置在過濾器底部或頂部的主管、安裝于主管上并平行于濾袋與濾袋之間的分管以及設置在每個分管上的至少一個噴嘴組成；袋式過濾器的粉塵入口處設置至少一個粉塵吹管，粉塵吹管吹出氮氣，粉塵被吹散后沉積到袋式過濾器的底部，再進入到第三袋式過濾器，攔截下來的粉塵干燥、包裝得到成品。

三氯氫硅合成爐中的廢氣和粉塵的混合物先經過過濾裝置，所截留的粉塵再通過本發明的兩步袋式過濾器處理，粉塵進入第一袋式過濾器，被粉塵入口處設置至少一個粉塵吹管吹出的氮氣吹散后沉積到袋式過濾器的布袋上和第一袋式過濾器的底部，通過布袋吹管將沉積到布袋上的粉塵吹落到第一布袋過濾器底部；收集得到的粉塵再進入到第二袋式過濾器，再經過相同的處理，將最后收集得到的粉塵干燥、包裝得到成品。

本發明的第一優選技術方案為：所述布袋過濾器中的粉塵吹管設置有2～8個氮氣吹嘴，其中所吹氮氣的壓強為0.2～0.4MPa。

本發明的第二優選技術方案為：在三氯氫硅生產過程中，在袋式過濾器中，由設置在濾袋與濾袋之間的吹管吹出氮氣，吹氮氣的時間為1～15秒，脈沖氮氣的吹入頻率為1～60次/小時，其中所吹氮氣的壓強為0.2～0.4MPa。噴嘴吹出氮氣的角度為與水平線呈15～75度角，優選15～60度角。

本發明的第三優選技術方案為：在袋式過濾器內設置有氨氣吹管，粉塵通過設置在過濾器內的氨氣吹管吹入氨氣，氨氣與氯化氫反應完閉后直接由第一袋式過濾器排出或進入到第二袋式過濾器。

本發明的第四優選技術方案為：所述的袋式過濾器中吹入氨氣時，通過袋式過濾器內設置的化學感應器監測反應進程，完閉后直接由袋式過濾器排出或進入到第二袋式過濾器。

本發明的第五優選技術方案為：所述的化學感應器感應到氯化氫的含量為1～50ppm、氨氣的含量為1～50ppm時，袋式過濾器直接將收集的粉塵直接排出。

本發明的第六優選技術方案為：第二袋式過濾器攔截得到的粉塵的干燥條件為70～85℃

為實現本發明的第二發明目的，采用的技術方案為：

本發明還涉及一種三氯氫硅生產過程中尾氣粉塵的處理設備，所述的設備含有兩個袋式過濾器，所述袋式過濾器中設置至少一個布袋吹管，所述布袋吹管由設置在過濾器底部或頂部的主管、垂直安裝與主管上位于濾袋與濾袋之間的分管以及每個分管上設置的至少一個噴嘴組成，所述袋式過濾器中的粉塵入口處設置有至少一個粉塵吹管。

本發明的第一優選技術方案為：所述的布袋吹管的各分管與主管連接處設置有電磁閥，所述的分管的高度為布袋底端到頂端的1/2到上1/3處，所述分管上垂直均勻分布有2～5個噴嘴。

本發明的第二優選技術方案為：所述第一袋式過濾器和第二袋式過濾器之間通過折管連接或者通過傳送裝置連接。