[發明專利]一種三氯氫硅生產尾氣粉塵處理的方法

有效

• 申請號: 201010607449.6
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN102029093A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 郎豐平;邱順恩;黃少輝;黃小明;李明生
• 申請（專利權）人: 江西嘉柏新材料有限公司
• 主分類號: B01D46/04
• 分類號: B01D46/04;B01D46/42
• 代理公司: 北京元中知識產權代理有限責任公司 11223
• 代理人: 王明霞

1.一種三氯氫硅生產過程中尾氣粉塵的處理方法，其特征在于，所述的三氯氫硅生產過程中的產生的粉塵采用兩步袋式過濾器處理，所述袋式過濾器設置有至少一個布袋吹管吹出氮氣，所述布袋吹管包括設置在過濾器底部或頂部的主管、安裝于主管上并平行于濾袋與濾袋之間的分管以及設置在每個分管上的至少一個噴嘴；所述袋式過濾器的粉塵入口處設置至少一個粉塵吹管，粉塵吹管吹出氮氣，粉塵被吹散后沉積到袋式過濾器的底部。

2.根據權利要求1所述的處理方法，其特征在于，所述袋式過濾器中設置的粉塵吹管設置有2～8個氮氣吹嘴，其所吹氮氣的壓強為0.2～0.4MPa。

3.根據權利要求1所述的處理方法，其特征在于，布袋吹管的上設置的平行于濾袋與濾袋之間的分管吹出氮氣，吹氮氣的時間為1～15秒，氮氣的吹入頻率為1～60次/小時，其中所吹氮氣的壓強為0.2～0.4MPa。

4.根據權利要求1所述的處理方法，其特征在于，所述袋式過濾器內設置有氨氣吹管，粉塵通過設置在袋式過濾器內的氨氣吹管吹入氨氣，氨氣與氯化氫氣體反應完畢后，所收集得到的粉塵直接排出或進入到第二袋式過濾器中。

5.根據權利要求4所述的處理方法，其特征在于，所述的袋式過濾器中吹入氨氣時，通過袋式過濾器內設置的化學感應器監測反應進程，反應完成后直接排出或進入第二袋式過濾器中。

6.根據權利要求5所述的處理方法，其特征在于，所述的化學感應器感應到氯化氫的含量為1～50ppm、氨氣的含量為1～50ppm時，將袋式過濾器收集的粉塵直接排出。

7.根據權利要求1所述的處理方法，其特征在于，第二袋式過濾器攔截得到的粉塵的經干燥、包裝得到成品，干燥條件為70～85℃。

8.一種如權利要求1所述的三氯氫硅生產過程中尾氣粉塵的處理設備，其特征在于，所述的設備含有兩個袋式過濾器，所述袋式過濾器中設置至少一個布袋吹管，所述布袋吹管由設置在過濾器底部或頂部的主管、垂直安裝與主管上位于濾袋與濾袋之間的分管以及每個分管上設置的至少一個噴嘴組成，所述袋式過濾器中的粉塵入口處設置有至少一個粉塵吹管。

9.根據權利要求8所述的處理設備，其特征在于，所述的布袋吹管中，各分管與主管連接處設置有電磁閥，所述的分管的高度為布袋底端到頂端的1/2到上1/3處，所述分管上垂直均勻分布有2～5個氮氣噴嘴。

10.根據權利要求8所述的處理設備，其特征在于，所述第一袋式過濾器和第二袋式過濾器之間通過折管連接或者通過傳送裝置連接。