[發明專利]固晶機的取晶機械手

有效

• 申請號: 201010605314.6
• 申請日: 2010-12-24
• 公開（公告）號: CN102142391A
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發明（設計）人: 黃薇;張電明;高云峰
• 申請（專利權）人: 深圳市大族光電設備有限公司;深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族數控科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/00;H01L21/50;B25J9/16;B25J19/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

【技術領域】

本發明涉及一種固晶設備，特別是涉及一種固晶機的取晶機械手。

【背景技術】

LED(SMD)固晶設備產能要求在不斷提高。高速固晶機工作過程中，固晶機的取晶機械手吸嘴抓取晶片后，經高速擺臂移動至固晶位置。由于取晶機械手的擺臂移動呈弧形軌跡，此時若氣壓調節不恰當，造成吸嘴真空吸附力不夠或抓晶時位置有偏移，將造成晶片未到達固晶位置前已被甩出。此時若無檢測判斷晶片是否還在，固晶過程繼續完成，則形成漏固點。為了檢測是否漏晶，取晶機械手通常采用紅外檢測裝置來判斷吸嘴的晶片是否還在。然而，紅外線檢測裝置容易受外界紅外光干擾而造成檢測結果失效，且當晶片透明度較高時，信號微弱，也不易判別。因此，上述取晶機械手檢測漏晶的精確度較低。

【發明內容】

鑒于上述狀況，有必要提供一種檢測漏晶的精度較高的取晶機械手。

一種固晶機的取晶機械手，其包括擺臂、吸嘴、真空氣源、流量傳感器、氣管及信號處理裝置，吸嘴固定于該擺臂的自由端上，流量傳感器連通于吸嘴與真空氣源之間，氣管用于連通吸嘴、流量傳感器及真空氣源，流量傳感器用于檢測氣管內的氣流量并輸出電信號，信號處理裝置用于對流量傳感器輸出的電信號進行比較處理后輸出是否漏晶的判斷信號。

進一步地，該信號處理裝置包括與該流量傳感器通訊連接的第一比較器及第二比較器，該流量傳感器輸出的電信號經該第一比較器比較后獲得該吸嘴與晶片是否觸完全的判斷信號，該流量傳感器輸出的電信號經該第二比較器比較后獲得是否漏晶的判斷信號。

進一步地，該信號處理裝置包括與該流量傳感器通訊連接的第一比較器及第二比較器，該流量傳感器輸出的電信號經該第一比較器比較后獲得該吸嘴與晶片是否觸完全的判斷信號，該流量傳感器輸出的電信號經該第二比較器比較后獲得是否漏晶的判斷信號。

進一步地，該信號處理裝置還包括與該第一比較器電連接的第一電位器，該第一電位器用于調節該第一比較器的電信號比較值。

進一步地，該信號處理裝置還包括與該第二比較器電連接的第二電位器，該第二電位器用于調節該第二比較器的電信號比較值。

進一步地，該信號處理裝置還包括與該第一比較器及第二比較器通訊連接的輸出端。

進一步地，該固晶機的取晶機械手還包括連通于該吸嘴與該流量傳感器之間的氣閥，該氣閥用于切斷該氣管中的氣流。

進一步地，該固晶機的取晶機械手還包括連通于氣閥與該流量傳感器之間的過濾器，該過濾器用于過濾氣流中的雜質。

進一步地，該固晶機的取晶機械手還包括連通于該流量傳感器與該真空氣源之間且用于提供吸氣動力的氣缸。

進一步地，該固晶機的取晶機械手還包括用于驅動該擺臂轉動的擺臂馬達。

上述固晶機的取晶機械手可通過流量傳感器檢測氣管內的氣體流量，從而得知吸嘴是否吸附有晶片，檢測過程中不收外界光干擾，因此，上述固晶機的取晶機械手檢測漏晶的精確度較高。

【附圖說明】

圖1為實施例一的固晶機的取晶機械手的平面示意圖；

圖2為圖1所示取晶機械手的局部立體圖；

圖3為圖1所示取晶機械手取晶的狀態示意圖；

圖4為圖1所示取晶機械手的控制信號時序圖；

圖5為圖1所示取晶機械手的處理模塊的原理圖。

【具體實施方式】

下面主要結合附圖說明本發明的具體實施。

請參閱圖1及圖2，實施例一的固晶機的取晶機械手100用于將晶片200從抓晶工作臺300上抓取到固晶工作臺400上。取晶機械手100包括擺臂110、嘴120、氣管130、氣閥140、過濾器150、流量傳感器160、氣缸170及真空氣源180。吸嘴120固定于擺臂110的自由端上。氣管130為多個，其將吸嘴120、氣閥140、過濾器150、流量傳感器160、氣缸170及真空氣源180依次連通。

擺臂110可在抓晶工作臺300與固晶工作臺400之間做往復運動。

吸嘴120具有吸嘴孔121，其通過吸嘴孔121吸氣而將晶片200緊緊地吸取。

氣閥140連通于吸嘴120與過濾器150之間，其用于切斷氣管130中的氣流。在本實施中，氣閥140為真空電磁閥。

過濾器150用于過濾氣管130中氣流的塵埃等雜質，以避免將塵埃等雜質吸入流量傳感器160中。

流量傳感器160用于檢測氣管130內的氣流量。

氣缸170用于提供吸嘴120吸氣的動力。

真空氣源180用于提供真空氣壓。