[發明專利]固晶機的取晶機械手

有效

• 申請號: 201010605314.6
• 申請日: 2010-12-24
• 公開（公告）號: CN102142391A
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發明（設計）人: 黃薇;張電明;高云峰
• 申請（專利權）人: 深圳市大族光電設備有限公司;深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族數控科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/00;H01L21/50;B25J9/16;B25J19/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

1.一種固晶機的取晶機械手，其特征在于，包括擺臂、吸嘴、真空氣源、流量傳感器、氣管及信號處理裝置，該吸嘴固定于該擺臂的自由端上，該流量傳感器連通于該吸嘴與該真空氣源之間，該氣管用于連通該吸嘴、流量傳感器及真空氣源，該流量傳感器用于檢測該氣管內的氣流量并輸出電信號，該信號處理裝置用于對該流量傳感器輸出的電信號進行比較處理后輸出是否漏晶的判斷信號。

2.根據權利要求1所述的固晶機的取晶機械手，其特征在于，該信號處理裝置包括與該流量傳感器通訊連接的第一比較器及第二比較器，該流量傳感器輸出的電信號經該第一比較器比較后獲得該吸嘴與晶片是否觸完全的判斷信號，該流量傳感器輸出的電信號經該第二比較器比較后獲得是否漏晶的判斷信號。

3.根據權利要求2所述的固晶機的取晶機械手，其特征在于，該信號處理裝置還包括與該第一比較器電連接的第一電位器，該第一電位器用于調節該第一比較器的電信號比較值。

4.根據權利要求2所述的固晶機的取晶機械手，其特征在于，該信號處理裝置還包括與該第二比較器電連接的第二電位器，該第二電位器用于調節該第二比較器的電信號比較值。

5.根據權利要求2所述的固晶機的取晶機械手，其特征在于，該信號處理裝置還包括與該第一比較器及第二比較器通訊連接的輸出端。

6.根據權利要求1所述的固晶機的取晶機械手，其特征在于，還包括連通于該吸嘴與該流量傳感器之間的氣閥，該氣閥用于切斷該氣管中的氣流。

7.根據權利要求6所述的固晶機的取晶機械手，其特征在于，還包括連通于氣閥與該流量傳感器之間的過濾器，該過濾器用于過濾氣流中的雜質。

8.根據權利要求1所述的固晶機的取晶機械手，其特征在于，還包括連通于該流量傳感器與該真空氣源之間且用于提供吸氣動力的氣缸。

9.根據權利要求1所述的固晶機的取晶機械手，其特征在于，還包括用于驅動該擺臂轉動的擺臂馬達。

10.根據權利要求1所述的固晶機的取晶機械手，其特征在于，還包括用于驅動該擺臂伸縮運動的控制馬達。