[發(fā)明專利]快速熱退火方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010605225.1 | 申請日： | 2010-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN102560025A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 周祖源 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫華潤上華科技有限公司 |
| 主分類號： | C21D1/26 | 分類號： | C21D1/26 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214028 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 快速 退火 方法 | ||
【技術(shù)領(lǐng)域】
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制程領(lǐng)域內(nèi)的快速退火方法，尤其涉及一種加熱器件溫度過熱時的快速熱退火方法。
【背景技術(shù)】
隨著半導(dǎo)體制程的不斷發(fā)展，快速熱退火的應(yīng)用越來越普遍，器件性能不僅對退火溫度準(zhǔn)確性和均勻性的控制提出了越來越高的要求，而且對退火過程中熱預(yù)算也提出了嚴(yán)格的要求。特別是在金屬硅化物的普遍應(yīng)用以來，相轉(zhuǎn)變的控制對熱預(yù)算更提出了苛刻的要求。所有這些都要求在設(shè)備匹配和設(shè)備擴展中，特別要求整體溫度曲線的匹配。
目前的快速熱退火菜單雖然多數(shù)采用了多步控制的模式，以期達(dá)到升溫及降溫過程中的溫度控制均衡，但現(xiàn)在在各類快速退火設(shè)備中，由于設(shè)備性能差異、設(shè)備部件老化等種種原因，仍然會普遍出現(xiàn)溫度過熱的現(xiàn)象。例如，常見的采用7步控制模式的快速退火菜單，其中包括了兩個升溫步驟，即第4步和第5步，所述第4步和第5步都要求較高的升溫速率(分別為50℃每秒和25℃每秒)，而第6步為要求進入溫度平穩(wěn)步驟(即退火步驟)，從菜單每一步的時間來看，第4步設(shè)定的截止溫度為700℃且穩(wěn)定時間約為5秒，第5步設(shè)定的截止溫度為750℃且穩(wěn)定時間約為2秒，若第4和第5步的穩(wěn)定時間長于5秒和2秒，則第4或第5步所施加的高功率在第5或第6步仍會延續(xù)，如此則造成溫度過熱現(xiàn)象，退火菜單中各個步驟參數(shù)設(shè)置可參下表：
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